[发明专利]振动器件、电子设备以及移动体

说明书

提供振动器件、电子设备以及移动体，其具有优异的检测特性。该振动器件包含振动元件、基座和相对于基座支承振动元件的支承件。另外，从所述支承件的厚度方向俯视时，支承件具有框状的框架、配置在框架的外侧并固定于基座的底座、配置在框架的内侧并搭载有振动元件的元件保持架、从元件保持架起沿第1方向延伸并连接元件保持架和框架的一对第1梁、以及从框架起沿与第1方向不同的第2方向延伸并连接框架和底座的一堆第2梁。并且，在俯视时，将第1梁在第1方向上的长度设为L1(μm)、第1梁在与第1方向垂直的方向上的宽度W设为W1(μm)时，满足W1²/L1＜30。

本申请是申请日为2020年8月27日，申请号为202010875967.X，发明名称为“振动器件”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及振动器件。

背景技术

在专利文献1中记载了一种具有电路元件、振动元件和将振动元件固定在电路元件上的中继基板的振动器件。另外，中继基板形成万向支架(gimbal)结构，具有固定在电路元件上的框状的第1部分、配置在第1部分的内侧的框状的第2部分、配置在第2部分的内侧并固定有振动元件的第3部分、连接第1部分和第2部分的第1梁以及连接第2部分和第3部分的第2梁。通过这样的中继基板，抑制了应力向振动元件的传递。另外，在专利文献2中，作为陀螺仪元件的支承结构，记载了利用内引线将陀螺仪元件支承在TAB基板上方的结构。

专利文献1：日本特开2019-102858号公报

专利文献2：日本特开2017-026336号公报

在将专利文献2中记载的陀螺仪元件代替该文献中记载的支承结构而搭载在专利文献1中记载的万向支架状的中继基板上的情况下，根据第2梁的尺寸，第2梁的绕Z轴即陀螺仪元件的检测轴的刚性变得过高。若第2梁的绕Z轴的刚性变得过高，则陀螺仪元件的检测振动受到阻碍，陀螺仪元件的检测灵敏度有可能降低。

发明内容

本应用例的振动器件的特征在于，具有：振动元件，其根据绕检测轴的物理量进行检测振动；基座；以及支承件，其相对于所述基座支承所述振动元件，在从所述支承件的厚度方向俯视时，所述支承件具有：框状的框架；底座，其配置在所述框架的外侧，并固定于所述基座；元件保持架，其配置在所述框架的内侧，搭载有所述振动元件；一对第1梁，它们从所述元件保持架起沿着第1方向延伸，将所述元件保持架和所述框架连接起来；以及一对第2梁，它们从所述框架起沿着与所述第1方向不同的第2方向延伸，将所述框架和所述底座连接起来，在所述俯视时，将所述第1梁在所述第1方向上的长度设为L1μm、所述第1梁在与所述第1方向垂直的方向上的宽度W设为W1μm时，满足W1²/L1＜30。

在本应用例的振动器件中，优选满足：W1²/L1＜12.5。

在本应用例的振动器件中，优选的是，在将相互垂直的3个轴设为A轴、B轴和C轴时，所述支承件的厚度方向沿着所述C轴，所述振动元件具有：元件基座，其固定于所述元件保持架；一对检测臂，它们从所述元件基座起沿着所述B轴延伸；一对连接臂，它们从所述元件基座起沿着所述A轴延伸；一对驱动臂，它们从一个所述连接臂的末端起起沿着所述B轴延伸；以及一对驱动臂，它们从另一个所述连接臂的末端起沿着所述B轴延伸。

在本应用例的振动器件中，优选的是，所述第1方向沿着所述A轴，所述第2方向沿着所述B轴。

在本应用例的振动器件中，优选的是，在从沿着所述C轴的方向观察的俯视时，所述元件保持架和所述元件基座为相同的形状。

在本应用例的振动器件中，优选的是，所述支承件具有一对第3梁，所述第3梁从所述框架起沿着所述第1方向延伸，并将所述框架和所述底座连接起来，所述一对第3梁和所述一对第1梁配置在一条直线上。

附图说明

图1是示出第1实施方式的振动器件的剖视图。