[发明专利]振动器件、电子设备以及移动体在审

专利信息
申请号: 202210996339.6 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN115372649A 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 小仓诚一郎;山口启一;西泽龙太 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: G01P3/02 分类号: G01P3/02;G01P1/00;G01P1/04
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 邓毅;黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 振动 器件 电子设备 以及 移动
【权利要求书】:

1.一种振动器件,其特征在于,所述振动器件包含:

振动元件,其包含基部,对物理量进行检测;以及

支承基板,其支承所述振动元件,

在将相互垂直的3个轴设为A轴、B轴和C轴时,

在从沿着所述C轴的C轴方向俯视时,所述支承基板包含:

框部;

基体固定部,其配置在所述框部的外侧;

元件搭载部,其配置在所述框部的内侧,搭载有所述振动元件;

一对第1梁部,它们从所述元件搭载部起分别向所述A轴的正侧和负侧延伸,将所述元件搭载部和所述框部连接起来;以及

一对第2梁部,它们从所述框部起分别向所述B轴的正侧和负侧延伸,将所述框部和所述基体固定部连接起来,

在将所述第1梁部在沿着所述A轴的A轴方向上的长度设为L1、所述第1梁部在沿着所述B轴的B轴方向上的宽度W设为W1时,满足:

W12/L1<30。

2.根据权利要求1所述的振动器件,其特征在于,所述振动器件满足:

W12/L1<12.5。

3.根据权利要求1或2所述的振动器件,其特征在于,

在所述俯视时,所述基体固定部是框状的。

4.根据权利要求3所述的振动器件,其特征在于,

所述支承基板包含一对第3梁部,在所述俯视时,所述第3梁部从所述框部起分别向所述A轴的正侧和负侧延伸,将所述框部和所述基体固定部连接起来。

5.根据权利要求4所述的振动器件,其特征在于,

在所述俯视时,所述一对第3梁部和所述一对第1梁部配置在一条直线上。

6.根据权利要求4所述的振动器件,其特征在于,

在将所述第3梁部在所述B轴方向上的宽度设为W2时,满足:

W2≤W1。

7.根据权利要求1所述的振动器件,其特征在于,

在所述俯视时,所述元件搭载部和所述基部为相同的形状。

8.根据权利要求1所述的振动器件,其特征在于,

该振动器件包含基体,

所述基体固定部固定于所述基体。

9.根据权利要求1所述的振动器件,其特征在于,

所述振动元件包含一对检测臂,所述一对检测臂沿所述B轴方向延伸,在所述A轴方向上进行弯曲振动。

10.根据权利要求9所述的振动器件,其特征在于,

所述振动元件包含:

一对连接臂,它们从所述基部起分别向所述A轴的正侧和负侧延伸;

从所述一对连接臂中的一个起沿所述B轴方向延伸的驱动臂;以及

从所述一对连接臂中的另一个起沿所述B轴方向延伸的驱动臂。

11.一种电子设备,其特征在于,包含:

权利要求1所述的振动器件;以及

信号处理电路,其基于所述振动器件的输出信号,进行信号处理。

12.一种移动体,其特征在于,包含:

权利要求1所述的振动器件;以及

信号处理电路,其基于所述振动器件的输出信号,进行信号处理。

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