[发明专利]振动器件、电子设备以及移动体在审
申请号: | 202210996339.6 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN115372649A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 小仓诚一郎;山口启一;西泽龙太 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01P3/02 | 分类号: | G01P3/02;G01P1/00;G01P1/04 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 邓毅;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振动 器件 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种振动器件,其特征在于,所述振动器件包含:
振动元件,其包含基部,对物理量进行检测;以及
支承基板,其支承所述振动元件,
在将相互垂直的3个轴设为A轴、B轴和C轴时,
在从沿着所述C轴的C轴方向俯视时,所述支承基板包含:
框部;
基体固定部,其配置在所述框部的外侧;
元件搭载部,其配置在所述框部的内侧,搭载有所述振动元件;
一对第1梁部,它们从所述元件搭载部起分别向所述A轴的正侧和负侧延伸,将所述元件搭载部和所述框部连接起来;以及
一对第2梁部,它们从所述框部起分别向所述B轴的正侧和负侧延伸,将所述框部和所述基体固定部连接起来,
在将所述第1梁部在沿着所述A轴的A轴方向上的长度设为L1、所述第1梁部在沿着所述B轴的B轴方向上的宽度W设为W1时,满足:
W12/L1<30。
2.根据权利要求1所述的振动器件,其特征在于,所述振动器件满足:
W12/L1<12.5。
3.根据权利要求1或2所述的振动器件,其特征在于,
在所述俯视时,所述基体固定部是框状的。
4.根据权利要求3所述的振动器件,其特征在于,
所述支承基板包含一对第3梁部,在所述俯视时,所述第3梁部从所述框部起分别向所述A轴的正侧和负侧延伸,将所述框部和所述基体固定部连接起来。
5.根据权利要求4所述的振动器件,其特征在于,
在所述俯视时,所述一对第3梁部和所述一对第1梁部配置在一条直线上。
6.根据权利要求4所述的振动器件,其特征在于,
在将所述第3梁部在所述B轴方向上的宽度设为W2时,满足:
W2≤W1。
7.根据权利要求1所述的振动器件,其特征在于,
在所述俯视时,所述元件搭载部和所述基部为相同的形状。
8.根据权利要求1所述的振动器件,其特征在于,
该振动器件包含基体,
所述基体固定部固定于所述基体。
9.根据权利要求1所述的振动器件,其特征在于,
所述振动元件包含一对检测臂,所述一对检测臂沿所述B轴方向延伸,在所述A轴方向上进行弯曲振动。
10.根据权利要求9所述的振动器件,其特征在于,
所述振动元件包含:
一对连接臂,它们从所述基部起分别向所述A轴的正侧和负侧延伸;
从所述一对连接臂中的一个起沿所述B轴方向延伸的驱动臂;以及
从所述一对连接臂中的另一个起沿所述B轴方向延伸的驱动臂。
11.一种电子设备,其特征在于,包含:
权利要求1所述的振动器件;以及
信号处理电路,其基于所述振动器件的输出信号,进行信号处理。
12.一种移动体,其特征在于,包含:
权利要求1所述的振动器件;以及
信号处理电路,其基于所述振动器件的输出信号,进行信号处理。
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