[发明专利]一种VCP电镀设备用基板固定装置

权利要求书

1.一种VCP电镀设备用基板固定装置，其特征在于，包括：

固定架(1)，所述固定架(1)的中部固定连接有安装块(2)，所述固定架(1)的两侧均固定连接有支撑架(3)；

还包括：

夹持机构(4)，所述夹持机构(4)安装于所述安装块(2)上，用于对基板的两侧进行初步夹持和固定；

吸附机构(5)，所述吸附机构(5)设有三组且分别安装于所述安装架和两组所述支撑架(3)上，用于对基板的侧面进行吸附固定；

切换装置(6)，所述切换装置(6)安装于所述安装块(2)上，用于切换三组所述吸附机构(5)对基板的非电镀一侧进行吸附，保障基板电镀侧处于无阻挡的状态。

2.根据权利要求1所述的一种VCP电镀设备用基板固定装置，其特征在于：所述夹持机构(4)包括两组夹持杆(7)，两组所述夹持杆(7)的中部均固定连接有分别与两组所述支撑架(3)转动连接的第一转轴(8)，两组所述夹持杆(7)侧面的底端均固定连接有橡胶垫(9)，所述安装块(2)上设有用于驱动所述夹持杆(7)进行开合夹持的驱动件(10)。

3.根据权利要求2所述的一种VCP电镀设备用基板固定装置，其特征在于：所述驱动件(10)包括固定安装于所述安装块(2)上的第一伸缩杆(11)，所述第一伸缩杆(11)的伸缩端固定连接有升降块(12)，两组所述夹持杆(7)上均开设有第一滑槽(13)，所述第一滑槽(13)内滑动连接有连接杆(14)，两组所述连接杆(14)上均固定连接有分别与所述升降块(12)的两侧转动连接的第二转轴(15)。

4.根据权利要求3所述的一种VCP电镀设备用基板固定装置，其特征在于：所述吸附机构(5)包括吸盘(16)，所述安装块(2)和所述支撑架(3)的底端均固定连接有装置盒(17)，所述装置盒(17)的底端固定连接有固定架(1)，所述固定架(1)的两端均转动连接有第三转轴(19)，所述第三转轴(19)上固定连接有摆动杆(20)，所述吸盘(16)与所述摆动杆(20)侧面的底端固定连接，所述摆动杆(20)内设有用于在一侧所述吸盘(16)贴合基板时对另一侧吸附状态的所述吸盘(16)内充气并解除吸附状态进行切换吸附面的切换件(21)，所述切换装置(6)用于控制两侧所述摆动杆(20)的摆动状态。

5.根据权利要求4所述的一种VCP电镀设备用基板固定装置，其特征在于：所述切换件(21)包括波纹管(22)，所述吸盘(16)上开设有第一通孔(23)，所述摆动杆(20)上开设有与所述第一通孔(23)相连通的第一管道(24)，所述摆动杆(20)上开设有与所述第一管道(24)相连通的第二管道(25)，所述波纹管(22)的两端分别与两组所述第二管道(25)的上端相连通，所述第一通孔(23)内设有用于控制所述第一管道(24)与所述第一通孔(23)连通状态的控制件(26)。

6.根据权利要求5所述的一种VCP电镀设备用基板固定装置，其特征在于：所述控制件(26)包括固定安装于所述吸盘(16)上的第一弹簧(27)，所述第一弹簧(27)上固定连接有与所述第一管道(24)内壁滑动连接的滑动块(28)，所述滑动块(28)上开设有与所述第二管道(25)相连通的侧孔(29)，所述滑动块(28)上开设有进气管(30)，所述滑动块(28)上开设有与所述进气管(30)和所述侧孔(29)均连通的连通管(31)。

7.根据权利要求6所述的一种VCP电镀设备用基板固定装置，其特征在于：所述切换装置(6)包括同步杆(32)，所述同步杆(32)上固定连接有三组驱动块(33)，所述所述装置盒(17)内固定连接有导向块(34)，所述驱动块(33)的侧面开设有与所述导向块(34)滑动连接的导向槽(35)，所述驱动块(33)上设有用于控制两组所述摆动杆(20)摆动状态的摆动件(36)。