[发明专利]一种真空专用型电动顶升机构

权利要求书

1.一种真空专用型电动顶升机构，包括底座(13)，所述底座(13)的下表面连接有输出端向上的动力机构，所述动力机构通过联轴器(8)连接丝杠(5)，所述丝杠(5)螺纹连接丝杠螺母(7)，所述丝杠螺母(7)固定连接导架(10)，所述导架(10)插接有导向轴(6)，所述导向轴(6)的下端与底座(13)连接，上端连接有升降固定板(3)，其特征在于：所述导架(10)连接有一端开口的顶升轴(1)，所述顶升轴(1)向上穿过升降固定板(3)连接负载，所述升降固定板(3)和顶升轴(1)之间的空间连接有顶升轴导套(2)，所述升降固定板(3)和导架(10)之间连接有焊接波纹管(4)，所述焊接波纹管(4)的两端通过胶圈完成与升降固定板(3)和导架(10)的密封，所述顶升轴(1)底部与导架(10)之间同样通过胶圈密封；

所述顶升轴(1)的开口向下，并将丝杠(5)包裹在内腔中；

所述顶升轴导套(2)与升降固定板(3)固定连接，与顶升轴(1)滑动连接，所述顶升轴导套(2)的内壁设有若干环状分布导气槽，所述顶升轴导套(2)的内壁还镶嵌有石墨；

所述焊接波纹管(4)将顶升轴(1)包裹在内腔中，所述焊接波纹管(4)上端与升降固定板(3)固定连接，下端与导架(10)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空专用型电动顶升机构，其特征在于：所述动力机构包括伺服电机(14)以及与伺服电机(14)输出端连接直角减速器(11)。

3.根据权利要求2所述的一种真空专用型电动顶升机构，其特征在于：所述导向轴(6)的两端通过导向轴固定座(12)与升降固定板(3)、底座(13)连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空专用型电动顶升机构，其特征在于：所述导架(10)在对应导向轴(6)的位置连接有直线轴承(9)，所述导向轴(6)位于直线轴承(9)内部。

5.根据权利要求1所述的一种真空专用型电动顶升机构，其特征在于：所述导气槽的数量为六个。