[发明专利]环境温度可控式微纳精度电涡流传感器件测试平台

说明书

本发明公开了一种环境温度可控式微纳精度电涡流传感器件测试平台，包括基座、移动模块、载物组件、位移传感器、探头装持模块、探头和温度控制模块，移动模块用于至少在第一水平方向上移动载物组件，位移传感器与移动模块相连，用于测量载物组件的相对位移距离，探头安装在探头装持模块上并与载物组件在第一水平方向上相对，探头装持模块用于至少在与第一水平方向垂直的第二水平方向和竖直方向上移动探头。本发明公开的电涡流传感器件测试平台整体呈水平布置，利用单位移传感器在线测量提离距离的方式对提离距离进行精确的调节，并且温度控制模块实现了局部温度监测与调节，使得探头和被测样品环境温度可测可控。

技术领域

本发明涉及高精度测量技术领域，尤其是涉及一种环境温度可控式微纳精度电涡流传感器件测试平台。

背景技术

作为一种高精度非接触式检测方法，电涡流传感器件可应用于微米级位移或纳米级金属薄膜厚度的测量。对于传感器件研究，标定及性能测试是十分重要的环节，应重点考察灵敏度、量程、输出稳定性和精度等性能指标。常规测试平台通常将被测样品水平放置，探头竖直方向固定。在这种方式下，提离距离易受振动影响，且在以往技术中多采用两个位移传感器以差动方式实现提离距离的测量。此外，对于环境温度变化对传感器件检测性能的影响也需要进行有效评估，所以在保证提离距离精确可控的基础上，实现局部环境温度控制模块及其与平台集成具有重要意义。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的实施例提出一种提离距离精确可调和环境温度可控的电涡流传感器件测试平台。

本发明实施例的电涡流传感器件测试平台包括：基座、移动模块、载物组件、位移传感器、探头装持模块、探头和温度控制模块，所述移动模块和所述探头装持模块设置于所述基座上，所述载物组件用于承载被测样品并与所述移动模块相连，所述移动模块用于至少在第一水平方向上移动所述载物组件，所述位移传感器与所述移动模块相连，用于实时测量所述载物组件的相对位移距离，所述探头安装在所述探头装持模块上并与所述载物组件在第一水平方向上相对，所述探头装持模块用于至少在与所述第一水平方向垂直的第二水平方向和竖直方向上移动所述探头，操作方式简单。所述温度控制模块包括温度传感器和加热元件，所述温度传感器和所述加热元件设在所述探头装持模块和载物组件中的至少一者，用于对所述探头和/或所述被测样品进行局部环境温度调控。

本发明实施例提供的电涡流传感器件测试平台可用于电涡流传感器件性能测试和标定，也可以作为实验平台测量被测样品的相关参数。电涡流传感器件测试平台整体呈水平布置，探头和被测样品在水平方向上相对，能够有效地减少竖直放置潜在的振动问题。此外，还提供了一种利用单位移传感器在线测量提离距离的方式，测量精度高，成本低。此外，温度控制模块实现了局部温度监测与调节，使得环境温度可测可控。

在一些实施例中，所述移动模块包括水平位移精调组件、第一转接支架和第一微动模块，所述第一微动模块设在所述基座上，所述第一转接支架与所述第一微动模块相连，所述水平位移精调组件设在所述第一转接支架上并与所述载物组件相连以在所述第一水平方向上移动所述载物组件，所述第一微动模块用于在所述第一水平方向上移动所述第一转接支架并同时移动所述水平位移精调组件和所述载物组件。

在一些实施例中，所述第一转接支架包括竖直设置的第一转接板，所述第一转接板与所述第一水平方向垂直，所述载物组件位于所述第一转接板的靠近所述探头的一侧，所述水平位移精调组件以所述第一转接支架为支撑并与所述载物组件相连。

在一些实施例中，所述第一转接板上开设有通孔，所述水平位移精调组件位于所述第一转接板的远离所述探头的一侧并穿过所述通孔与所述载物组件相连。

在一些实施例中，所述第一转接板的一侧连接有侧挡板，所述位移传感器与所述侧挡板相连。