[发明专利]环境温度可控式微纳精度电涡流传感器件测试平台

权利要求书

1.一种环境温度可控式微纳精度电涡流传感器件测试平台，其特征在于，包括：

基座、移动模块、载物组件、位移传感器、探头装持模块、探头和温度控制模块，所述移动模块和所述探头装持模块设置于所述基座上，所述载物组件用于承载被测样品并与所述移动模块相连，所述移动模块用于至少在第一水平方向上移动所述载物组件，所述位移传感器与所述移动模块相连，用于实时测量所述载物组件的相对位移距离，所述探头安装在所述探头装持模块上并与所述载物组件在第一水平方向上相对，所述探头装持模块用于至少在与所述第一水平方向垂直的第二水平方向和竖直方向上移动所述探头，

所述温度控制模块包括温度传感器和加热元件，所述温度传感器和所述加热元件设在所述探头装持模块和载物组件中的至少一者上，用于对所述探头和/或所述被测样品进行局部环境温度调控。

2.根据权利要求1所述的电涡流传感器件测试平台，其特征在于，

所述移动模块包括水平位移精调组件、第一转接支架和第一微动模块，所述第一微动模块设在所述基座上，所述第一转接支架与所述第一微动模块相连，所述水平位移精调组件设在所述第一转接支架上并与所述载物组件相连以在所述第一水平方向上移动所述载物组件，所述第一微动模块用于在所述第一水平方向上移动所述第一转接支架并同时移动所述水平位移精调组件和所述载物组件。

3.根据权利要求2所述的电涡流传感器件测试平台，其特征在于，

所述第一转接支架包括竖直设置的第一转接板，所述第一转接板与所述第一水平方向垂直，所述载物组件位于所述第一转接板的靠近所述探头的一侧，所述水平位移精调组件以所述第一转接支架为支撑并与所述载物组件相连。

4.根据权利要求3所述的电涡流传感器件测试平台，其特征在于，

所述第一转接板上开设有通孔，所述水平位移精调组件位于所述第一转接板的远离所述探头的一侧并穿过所述通孔与所述载物组件相连。

5.根据权利要求3所述的电涡流传感器件测试平台，其特征在于，

所述第一转接板的一侧连接有侧挡板，所述位移传感器与所述侧挡板相连。

6.根据权利要求1所述的电涡流传感器件测试平台，其特征在于，

所述探头装持模块包括第二转接支架、第二微动模块和探头安装支架，所述第二转接支架设在所述基座上，所述第二微动模块设在所述第二转接支架上，所述探头通过所述探头安装支架与所述第二微动模块相连，所述第二微动模块用于在所述第二水平方向上和竖直方向上移动所述探头。

7.根据权利要求6所述的电涡流传感器件测试平台，其特征在于，

所述第二转接支架包括竖直设置的第三转接板，所述第三转接板与所述第一水平方向垂直，所述第二微动模块设在所述第三转接板上，所述探头安装支架设在所述第二微动模块的远离所述第三转接板的一侧。

8.根据权利要求6所述的电涡流传感器件测试平台，其特征在于，

所述探头安装支架上设有开口朝向所述载物组件的安装槽和与所述安装槽贯通的螺栓孔，所述探头通过所述开口装入所述安装槽，螺栓通过穿过所述螺栓孔伸入所述安装槽与所述探头相抵，所述安装槽的槽壁上设有所述加热元件和所述温度传感器。

9.根据权利要求1所述的电涡流传感器件测试平台，其特征在于，

所述载物组件包括载物台和载物台盖，所述载物台与所述移动模块相连，所述载物台的靠近所述探头的侧面设有卡槽，所述载物台盖包括卡合部和限位部，所述载物台盖具有测试开口，所述卡合部配合在所述卡槽内且所述被测样品夹设于所述载物台和所述限位部之间，所述被测样品的被测部分与所述测试开口相对。

10.根据权利要求9所述的电涡流传感器件测试平台，其特征在于，所述载物台的远离所述探头的一侧设有所述加热元件和所述温度传感器，所述加热元件和温度传感器在所述第一水平方向上与所述被测样品相对。