[发明专利]应用于加速度传感芯片生产的晶圆清洗设备

权利要求书

1.应用于加速度传感芯片生产的晶圆清洗设备，其特征在于，包括两个导向板组(1)，两个导向板组(1)相互平行，两个导向板组(1)呈倾斜分布，导向板组(1)由外框(2)和内板(3)组成，内板(3)位于外框(2)中部，并且内板(3)外壁与外框(2)内壁组成环形槽，环形槽的左侧设置为弧形，环形槽的右侧设置为方形；

两个导向板组(1)之间设置有多个曲轴(4)，多个曲轴(4)的摆放方向相同，曲轴(4)的两端分别穿过两个导向板组(1)上的环形槽，并且曲轴(4)沿环形槽方向滑动，曲轴(4)的端部安装有旋转夹持结构，旋转夹持结构用于固定芯片并带动芯片自转；

还包括环形输水槽板(5)，环形输水槽板(5)位于两个导向板组(1)的外侧，环形输水槽板(5)的外壁上连通设置有多个导水管(6)，并且导水管(6)与环形输水槽板(5)转动连接，导水管(6)的外端连通设置有喷头(7)。

2.根据权利要求1所述的应用于加速度传感芯片生产的晶圆清洗设备，其特征在于，还包括两个动力环(8)，两个动力环(8)位于两个导向板组(1)之间，两个动力环(8)分别转动安装在两个内板(3)中部，两个动力环(8)呈倾斜分布，两个动力环(8)之间倾斜设置有多个拉杆(9)，拉杆(9)的两端分别与两个动力环(8)转动连接；

动力环(8)的外壁上安装有多个第一伸缩杆(10)，第一伸缩杆(10)的活动端安装有第一套环(11)，第一套环(11)转动套装在曲轴(4)外壁上。

3.根据权利要求2所述的应用于加速度传感芯片生产的晶圆清洗设备，其特征在于，所述旋转夹持结构包括弧形板(12)，弧形板(12)固定在曲轴(4)上，弧形板(12)的外端安装有支撑臂(13)，支撑臂(13)外端安装有支撑套(14)，支撑套(14)内滑动套设有滑杆(15)，滑杆(15)的一端转动安装有第一气缸(16)，第一气缸(16)的固定端转动安装在弧形板(12)外壁上；

弧形板(12)的内侧设置有三个V型橡胶轮(17)，三个V型橡胶轮(17)呈锐角三角形分布，其中一个V型橡胶轮(17)转动安装在滑杆(15)上，剩余两个V型橡胶轮(17)转动安装在弧形板(12)内壁上；

所述弧形板(12)上安装有第一电机(18)，第一电机(18)的输出端与弧形板(12)上的一个V型橡胶轮(17)传动连接，第一电机(18)的外侧扣设有隔水罩(19)，隔水罩(19)固定在弧形板(12)上。

4.根据权利要求3所述的应用于加速度传感芯片生产的晶圆清洗设备，其特征在于，所述环形输水槽板(5)内侧套装有环形固定槽板(20)，环形固定槽板(20)与环形输水槽板(5)转动连接，并且环形固定槽板(20)与环形输水槽板(5)组成封闭腔室，环形固定槽板(20)固定在内板(3)上，环形固定槽板(20)内设置有两个隔板(21)，两个隔板(21)的外端延伸至环形输水槽板(5)内，两个隔板(21)将环形固定槽板(20)和环形输水槽板(5)组成的封闭腔室分割成导流腔室和空置腔室，空置腔室靠近环形槽方形区域一侧；

环形固定槽板(20)内壁上连通设置有输送管(22)，输送管(22)与导流腔室连通，输送管(22)外端连通设置有进水弯管(23)，进水弯管(23)穿过两个内板(3)并固定连接。

5.根据权利要求4所述的应用于加速度传感芯片生产的晶圆清洗设备，其特征在于，还包括转动环(24)，转动环(24)转动安装在环形固定槽板(20)的侧壁上，转动环(24)上转动安装有多个转盘(25)，转盘(25)上安装有拨叉杆(26)，导水管(6)穿过拨叉杆(26)的叉口并相对滑动；

转动环(24)的外壁上转动安装有第二气缸(27)，第二气缸(27)的固定端设置有安装板(28)，并且安装板(28)与第二气缸(27)转动连接，安装板(28)固定在环形输水槽板(5)上。

6.根据权利要求5所述的应用于加速度传感芯片生产的晶圆清洗设备，其特征在于，环形输水槽板(5)的外壁上固定有多个第二伸缩杆(29)，第二伸缩杆(29)的活动端安装有第二套环(30)，第二套环(30)转动套装在曲轴(4)外壁上。