[发明专利]一种半导体材料生产用打磨设备在审

专利信息
申请号: 202210918302.1 申请日: 2022-08-01
公开(公告)号: CN115157049A 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 赵瑞昆;高小良 申请(专利权)人: 徐州良萌半导体科技有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B41/06;B24B47/04;B24B47/22;B24B41/02;B24B27/00
代理公司: 北京专赢专利代理有限公司 11797 代理人: 蒋婷
地址: 221700 江苏省徐州市丰县经*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体材料 生产 打磨 设备
【权利要求书】:

1.一种半导体材料生产用打磨设备,包括安装座,其特征在于,所述安装座的外壁设置有立板,且立板的一侧外壁设置有电动滑轨,且电动滑轨中滑动设置有滑块,所述滑块的外壁设置有移动框,且移动框的内壁设置有立柱,所述立柱的端部转动设置有托板,所述安装座的外壁还设置有固定板,所述固定板中转动设置有丝杆,且丝杆的端部设置有调节轮,所述丝杆的外壁套接有移动板,且移动板和安装座之间相贴合,所述移动板的外壁设置有伸缩件一,且伸缩件一的伸缩端设置有升降板,所述升降板的外壁贯穿转动设置有转轴,且转轴的形状为U形,所述转轴的端部设置有安装框,所述安装框中设置有打磨块,且打磨块的外壁设置有活动杆,所述活动杆贯穿所述安装框,且活动杆的外壁套接有弹性件一,所述安装框靠近打磨块的一侧外壁开设有固定口,所述安装框的外壁还设置有弧形杆,且弧形杆贯穿所述升降板,还包括:

夹持机构,所述夹持机构设置于移动框上,用于夹持托板上的半导体材料;

限位机构,所述限位机构设置于移动框的内壁,用于限定托板的位置;

固定机构,所述固定机构设置于升降板的一侧,用于限定弧形杆的位置。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述夹持机构包括贯穿螺纹设置于移动框顶部外壁的螺杆,所述螺杆的一端设置有转盘,且螺杆的另一端转动设置有安装筒,所述安装筒的内壁通过弹性件二连接有伸缩杆,所述伸缩杆的端部设置有抵板,且抵板和托板的外壁均设置有多个橡胶球。

3.根据权利要求2所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述限位机构包括设置于移动框内壁的立筒,所述立筒的内壁通过弹性件三连接有插杆,且插杆的外壁设置有挡片,所述托板的底部外壁开设有等距离呈环形分布的插槽,且插杆的端部和插槽的内壁相契合。

4.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述固定机构包括伸缩件二,所述伸缩件二设置于升降板一侧开设的凹槽中,且伸缩件二的伸缩端设置有活动板,所述活动板的外壁设置有抵杆,且抵杆的端部设置有抵块,所述抵块的外壁和弧形杆的外壁相贴合。

5.根据权利要求4所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述电动滑轨、伸缩件一和伸缩件二均通过导线连接有开关,且开关电性连接有控制器。

6.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述安装座的外壁设置有固定块,且固定块的顶端和两侧外壁均设置有等距离分布的滚轮,所述移动框的外壁开设有固定槽,且滚轮的外壁和固定槽的内壁相接触。

7.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述安装框的一侧外壁开设有安装口,所述打磨块的一侧外壁设置有指针,且指针贯穿所述安装口,所述安装框的侧壁还设置有刻度尺,且指针的端部和刻度尺相贴合。

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