[发明专利]一种半导体材料生产用打磨设备在审
申请号: | 202210918302.1 | 申请日: | 2022-08-01 |
公开(公告)号: | CN115157049A | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 赵瑞昆;高小良 | 申请(专利权)人: | 徐州良萌半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B41/06;B24B47/04;B24B47/22;B24B41/02;B24B27/00 |
代理公司: | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人: | 蒋婷 |
地址: | 221700 江苏省徐州市丰县经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体材料 生产 打磨 设备 | ||
1.一种半导体材料生产用打磨设备,包括安装座,其特征在于,所述安装座的外壁设置有立板,且立板的一侧外壁设置有电动滑轨,且电动滑轨中滑动设置有滑块,所述滑块的外壁设置有移动框,且移动框的内壁设置有立柱,所述立柱的端部转动设置有托板,所述安装座的外壁还设置有固定板,所述固定板中转动设置有丝杆,且丝杆的端部设置有调节轮,所述丝杆的外壁套接有移动板,且移动板和安装座之间相贴合,所述移动板的外壁设置有伸缩件一,且伸缩件一的伸缩端设置有升降板,所述升降板的外壁贯穿转动设置有转轴,且转轴的形状为U形,所述转轴的端部设置有安装框,所述安装框中设置有打磨块,且打磨块的外壁设置有活动杆,所述活动杆贯穿所述安装框,且活动杆的外壁套接有弹性件一,所述安装框靠近打磨块的一侧外壁开设有固定口,所述安装框的外壁还设置有弧形杆,且弧形杆贯穿所述升降板,还包括:
夹持机构,所述夹持机构设置于移动框上,用于夹持托板上的半导体材料;
限位机构,所述限位机构设置于移动框的内壁,用于限定托板的位置;
固定机构,所述固定机构设置于升降板的一侧,用于限定弧形杆的位置。
2.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述夹持机构包括贯穿螺纹设置于移动框顶部外壁的螺杆,所述螺杆的一端设置有转盘,且螺杆的另一端转动设置有安装筒,所述安装筒的内壁通过弹性件二连接有伸缩杆,所述伸缩杆的端部设置有抵板,且抵板和托板的外壁均设置有多个橡胶球。
3.根据权利要求2所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述限位机构包括设置于移动框内壁的立筒,所述立筒的内壁通过弹性件三连接有插杆,且插杆的外壁设置有挡片,所述托板的底部外壁开设有等距离呈环形分布的插槽,且插杆的端部和插槽的内壁相契合。
4.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述固定机构包括伸缩件二,所述伸缩件二设置于升降板一侧开设的凹槽中,且伸缩件二的伸缩端设置有活动板,所述活动板的外壁设置有抵杆,且抵杆的端部设置有抵块,所述抵块的外壁和弧形杆的外壁相贴合。
5.根据权利要求4所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述电动滑轨、伸缩件一和伸缩件二均通过导线连接有开关,且开关电性连接有控制器。
6.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述安装座的外壁设置有固定块,且固定块的顶端和两侧外壁均设置有等距离分布的滚轮,所述移动框的外壁开设有固定槽,且滚轮的外壁和固定槽的内壁相接触。
7.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产用打磨设备,其特征在于,所述安装框的一侧外壁开设有安装口,所述打磨块的一侧外壁设置有指针,且指针贯穿所述安装口,所述安装框的侧壁还设置有刻度尺,且指针的端部和刻度尺相贴合。
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