[发明专利]一种晶圆清洗设备及供液方法

权利要求书

1.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括供液系统、若干依次层叠的罩盖、与所述供液系统连通的喷淋系统、适于放置晶圆的旋转系统、设置于所述罩盖下方的收集系统和升降驱动系统；

所述喷淋系统适于向晶圆表面喷洒清洗液；

所述收集系统适于收集晶圆清洗过程中产生的气体和液体；

所述升降驱动系统位于所述收集系统下方，适于顶起或放下所述罩盖；

所述升降驱动系统包括驱动组件和若干升降组件；

一个罩盖至少对应两个升降组件， 且所述升降组件的顶部与对应的所述罩盖相抵；

所述驱动组件包括一驱动部和若干转动盘，所述驱动部适于驱动各所述转动盘转动；

所述转动盘与所述罩盖一一对应；

每个所述转动盘上安装有至少一个凸起，且所述升降组件的底部与所述转动盘或凸起相抵；其中

所述驱动部驱动所述转动盘转动时，所述凸起顶推所述升降组件抬起，以顶起对应的所述罩盖。

2.如权利要求1所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于，

相邻两转动盘上的凸起交错设置；

所述驱动组件包括驱动装置和齿轮组；所述驱动装置通过所述齿轮组与至少一个所述转动盘传动连接。

3.如权利要求1所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于，

所述供液系统包括若干供液组件，供液组件对应清洗位，每个供液组件包括一供液部，所述供液部适于将清洗液供应至所述清洗位；每个供液组件还包括：至少两个配液部，所述配液部适于内部混合清洗液，以及

各所述配液部与所述供液部之间通过多通阀连接；其中

所述多通阀适于切换各所述配液部交替与所述供液部连通。

4.如权利要求3所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于，

所述配液部包括适于混合清洗液的槽体和适于过滤清洗液的过滤器；

所述槽体连接有若干进液管，且通过各进液管通入不同溶液；

所述过滤器的进口与所述槽体的出口连通，且所述过滤器与所述槽体之间的管路上设置有泵体；

所述供液部与所述多通阀的出口连通；以及

所述过滤器的顶部通过回流管与所述槽体连通，所述回流管上设有排气阀；其中

经由所述过滤器过滤的清洗液通过所述供液部向所述清洗位供液。

5.如权利要求4所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于，

所述过滤器与所述供液部之间的管路还连接有内循环管和排废管；以及

所述内循环管与所述槽体连通；其中

当所述内循环管与所述过滤器连通时，从所述过滤器排出的清洗液能够回流至所述槽体内混合；

当所述槽体内部清洗液浓度低于阈值后，清洗液通过所述排废管排出。

6.如权利要求5所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于，

所述配液部还包括位于所述槽体内的加热装置和冷却装置；

通过所述加热装置与所述冷却装置配合平衡所述槽体内清洗液的温度。

7.如权利要求6所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于，

所述供液部包括与所述多通阀的出口连通的若干供液管，

每个所述供液管上分别连接有流量调节阀和流量计。

8.如权利要求7所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于，

所述槽体的一侧还设置有液位显示器。

9.一种供液方法，其特征在于包括如权利要求6-8任一项所述的一种晶圆清洗设备，

S2，各溶液通过各进液管通入一配液部中的槽体内混合形成清洗液；

S4，通过加热装置和冷却装置配合使得槽体内的清洗液的温度保持平衡；

S6，通过泵体将槽体内的清洗液吸出槽体后，通过过滤器对清洗液过滤；

S8，在槽体对清洗位提供清洗液时，清洗液穿过多通阀进入供液部；

在混液时，经过过滤器后的清洗液能够通过内循环管回流到槽体内；

S10，当槽体内的清洗液浓度无法满足清洗需要后，控制多通阀与另一配液部对应的管路连通，而前一配液部中的槽体内的清洗液通过排废管排出。