[发明专利]电子级别三氟化氯纯化方法

权利要求书

1.一种电子级别三氟化氯纯化方法，包括：

在第一精馏塔中对三氟化氯原料进行除重组分杂质的一级精馏处理，其中，一级精馏处理使得所述三氟化氯原料中至少一部分第一组分变为液态，并获得第一气体和第一液体，其中，所述第一组分的沸点温度高于三氟化氯的沸点温度，并且所述第一气体至少包括三氟化氯气体以及其沸点温度低于所述三氟化氯气体的沸点温度的第二组分，并且所述第一液体至少包含液态第一组分以及液态三氟化氯，其中，所述的液态第一组分为氟化氢；

将所述第一气体输出到第二精馏塔，并将所述第一液体输出到第一处理室；

在所述第一处理室中对所述第一液体进行处理以获得三氟化氯；

在所述第二精馏塔中对所述第一气体进行除轻组分杂质的二级精馏处理，其中，二级精馏处理使得所述第一气体中三氟化氯变为液态，并且获得电子级别纯度的三氟化氯液体和第二气体，其中，所述第二气体至少包括第二组分以及至少一部分气态三氟化氯；

将所述第二气体输出到第二处理室；

在所述第二处理室中对所述第二气体进行冷凝处理以获得三氟化氯。

2.根据权利要求1所述的电子级别三氟化氯纯化方法，其中，所述在所述第一处理室中对所述第一液体进行处理以获得三氟化氯包括：

在所述第一处理室中对所述第一液体进行加热汽化处理，以获得第三气体，其中，所述第三气体包括有气态第一组分以及三氟化氯气体；

对所述第三气体进行氟化钠吸附处理，除去其中的氟化氢，以获得三氟化氯气体。

3.根据权利要求2所述的电子级别三氟化氯纯化方法，其中，所述在所述第一处理室中对所述第一液体进行处理以获得三氟化氯还包括：

对所述三氟化氯气体进行降温处理，以获得液态三氟化氯，所述的液态三氟化氯可以作为两级精馏原料循环使用。

4.根据权利要求1所述的电子级别三氟化氯纯化方法，其中，所述在所述第二处理室中对所述第二气体进行处理以获得三氟化氯包括：

对所述第二气体进行降温处理，以使得所述第二气体中的三氟化氯气体变为液态，而所述第二气体中的其他不凝气体排除。

5.一种电子级别三氟化氯纯化方法，包括：

在第一精馏塔中对三氟化氯原料进行除轻组分杂质的一级精馏处理，其中，一级精馏处理使得所述三氟化氯原料中的至少一部分三氟化氯和其沸点高于三氟化氯的沸点温度的第一组分变为液态，以获得第一液体和第一气体，其中，所述第一气体至少包括其沸点温度低于三氟化氯的沸点温度的气态第二组分和至少一部分气态三氟化氯，并且所述第一液体至少包括液态三氟化氯和液态第一组分，其中，所述的液态第一组分为氟化氢；

将所述第一液体输出到第二精馏塔，并且将所述第一气体输出到第一处理室；

在所述第一处理室中对所述第一气体进行冷凝处理以获得三氟化氯；

在所述第二精馏塔中对所述第一液体进行除重组分杂质的二级精馏处理，其中，二级精馏处理至少使得所述第一液体变为第二气体，并且所述第二气体中的第一组分变为液态，并获得电子级别纯度的三氟化氯气体和第二液体，其中，所述第二液体至少包括液态第一组分和液态三氟化氯；

将所述第二液体输出到第二处理室；

在所述第二处理室中对所述第二液体进行处理以获得三氟化氯。

6.根据权利要求5所述的电子级别三氟化氯纯化方法，其中，所述在所述第二处理室中对所述第二液体进行处理以获得三氟化氯包括：

在所述第二处理室中对所述第二液体进行加热汽化处理，以获得第三气体，其中，所述第三气体包括有气态第一组分以及三氟化氯气体；

对所述第三气体进行氟化钠吸附处理，除去其中的氟化氢，以获得三氟化氯气体。

7.根据权利要求6所述的电子级别三氟化氯纯化方法，其中，所述在所述第二处理室中对所述第二液体进行处理以获得三氟化氯还包括：

对所述三氟化氯气体进行降温处理，以获得液态三氟化氯。

8.根据权利要求5所述的电子级别三氟化氯纯化方法，其中，所述在所述第一处理室中对所述第一气体进行处理以获得三氟化氯包括：

对所述第一气体进行降温处理，以使得所述第一气体中的三氟化氯气体变为液态，而所述第一气体中的其他不凝气体排除。