[发明专利]一种光伏电池及光伏电池的制造方法

权利要求书

1.一种光伏电池，其特征在于，所述光伏电池包括：

基底（1），在所述基底的一侧包括依次堆叠的发射极和钝化层（11）；

所述发射极包括沿自身厚度方向层叠设置的第一平面（12）和第二平面（13），所述第二平面（13）与所述第一平面（12）之间的部分所述发射极为第一掺杂层（15）；

所述第二平面（13）远离所述第一平面（12）的一侧设置有第三平面（14），所述第三平面（14）与所述第二平面（13）之间的部分所述发射极为第二掺杂层（16）；

在单位体积内，所述第二平面（13）的掺杂浓度与所述第一平面（12）的掺杂浓度的变化率为ΔC₁，所述第三平面（14）的掺杂浓度与所述第二平面（13）的掺杂浓度的变化率ΔC₂，ΔC₁＜ΔC₂，且ΔC₁≤15%，ΔC₂≤30%；

所述第二平面（13）与所述第一平面（12）之间的距离H1满足：0.3μm≤H1≤0.35μm；

所述第三平面（14）与所述第一平面（12）之间的距离H2满足：0.5μm≤H2≤0.7μm。

2.根据权利要求1所述的光伏电池，其特征在于，在单位体积内，所述第二平面（13）的掺杂浓度的变化率ΔC₃满足：ΔC₃≤25%。

3.一种光伏电池的制造方法，所述光伏电池为权利要求1或2所述的光伏电池，其特征在于，所述制造方法包括：

向所述基底（1）内掺杂目标元素，以形成所述发射极；

在所述发射极的所述第一平面（12）上制备所述钝化层；

其中，向所述基底（1）内掺杂目标元素的步骤包括：

在所述第一平面（12）涂覆含有所述目标元素的掺杂试剂（2）；

将第一激光（3）穿过所述掺杂试剂（2）射入所述第二平面（13），以使所述目标元素扩散至所述第一掺杂层（15）和所述第二掺杂层（16）；

将第二激光（4）穿过所述掺杂试剂（2）射入所述第三平面（14），以使所述第二掺杂层（16）的所述目标元素扩散至所述第一掺杂层（15）；

所述第一激光（3）的波长L1满足：300nm≤L1≤400nm，所述第二激光（4）的波长L2满足：400nm≤L2≤550nm，且L1＜L2；

所述第一激光（3）的能量密度W1满足：0.4 J/cm²≤W1≤1.5 J/cm²，所述第二激光（4）的能量密度W2满足：0.6J/cm²≤W 2≤1.8 J/cm²。

4.根据权利要求3所述的光伏电池的制造方法，其特征在于，将第一激光（3）穿过所述掺杂试剂（2）射入所述第二平面（13），以使所述目标元素扩散至所述第一掺杂层（15）和所述第二掺杂层（16）的步骤具体包括：

所述第一激光（3）穿过所述掺杂试剂（2）、所述第一平面（12）射入所述第二平面（13），并产生高温；

所述目标元素被所述第一激光（3）推入所述第一掺杂层（15），并在所述第一激光（3）所产生的高温的驱动下扩散至所述第二掺杂层（16）。

5.根据权利要求3所述的光伏电池的制造方法，其特征在于，将第二激光（4）穿过所述掺杂试剂（2）射入所述第三平面（14），以使所述第二掺杂层（16）的所述目标元素扩散至所述第一掺杂层（15）的步骤具体包括：

所述第二激光（4）穿过所述掺杂试剂（2）、所述第一平面（12）、所述第二平面（13）射入所述第三平面（14），并产生高温；

所述目标元素在所述第二激光（4）所产生的高温的驱动下扩散至所述第一掺杂层（15）。

6.根据权利要求3所述的光伏电池的制造方法，其特征在于，所述掺杂目标元素的步骤之后，所述制造方法还包括：

清除所述第一平面（12）剩余的所述掺杂试剂（2）。