[发明专利]半导体器件和半导体器件的加工方法在审
| 申请号: | 202210872343.1 | 申请日: | 2022-07-20 |
| 公开(公告)号: | CN115346943A | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
| 发明(设计)人: | 陈鹏;刘鹏;陶莉;周厚德;梁卿;徐晓东 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/12;H01L23/31;H01L21/50 |
| 代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 庞茜 |
| 地址: | 430000 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体器件 加工 方法 | ||
1.一种半导体器件,其特征在于,所述半导体器件包括芯片(1)、基板(2)、和塑封体(3),所述基板(2)包括基板本体(21)、多个连接端子(22)和至少一个测试端子(23);其中,
所述芯片(1)位于所述基板本体(21)的第一面,且与所述基板本体(21)贴合;
所述多个连接端子(22)位于所述基板本体(21)远离所述芯片(1)的第二面,其中,所述第一面与所述第二面相对;
所述至少一个测试端子(23)位于所述基板本体(21)的第一面中所述芯片(1)所在区域之外的区域,每个测试端子(23)分别与一个连接端子(22)电性连接;
所述塑封体(3)至少覆盖在所述芯片(1)上。
2.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述至少一个测试端子(23)在所述第一面的正投影与所述芯片(1)在所述第一面的正投影具有间隔。
3.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述至少一个测试端子(23)在所述第一面的边缘中点对应的第一区域内,所述第一区域是以所述边缘中点为圆心的半圆形区域,所述半圆形区域的半径小于所述边缘中点到所述芯片(1)的最短距离。
4.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述至少一个测试端子(23)在所述第一面任意一个角的顶点对应的第二区域内,所述第二区域是以所述顶点为圆心的扇形区域,所述扇形区域的半径小于所述顶点到所述芯片(1)的最短距离。
5.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述塑封体(3)覆盖在所述基板本体(21)的第一面除所述测试端子(23)所在的区域。
6.根据权利要求5所述的半导体器件,其特征在于,所述半导体器件还包括至少一个金属导柱(4),所述金属导柱(4)一端与所述测试端子(23)固定连接,所述金属导柱(4)与所述第一面垂直,且所述金属导柱(4)的高度大于或等于所述塑封体(3)的厚度。
7.根据权利要求5所述的半导体器件,其特征在于,在所述测试端子(23)上覆盖有易拆除材料。
8.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述塑封体(3)覆盖在所述基板本体(21)的第一面上;
所述塑封体(3)沿垂直于所述第一面的方向远离所述基板(2)的一面具有至少一个标记(31),所述至少一个标记(31)在所述第一面上的正投影与所述至少一个测试端子(23)在所述第一面上的正投影交叠。
9.根据权利要求5-8任一项所述的半导体器件,其特征在于,所述塑封体(3)具有至少一个缺角。
10.一种半导体器件的加工方法,其特征在于,所述方法包括:
加工基板(2),其中,所述基板(2)包括基板本体(21)、多个连接端子(22)和至少一个测试端子(23),所述至少一个测试端子(23)位于所述基板本体(21)的第一面,所述多个连接端子(22)位于所述基板本体(21)的第二面,每个测试端子(23)分别与一个连接端子(22)电性连接,所述第一面与所述第二面相对;
将芯片(1)装配在所述基板本体(21)的第一面;
将塑封材料覆盖在所述基板本体(21)上,形成塑封体(3)。
11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,所述加工所述基板(2)之后,还包括:
在所述测试端子(23)上固定连接金属导柱(4),所述金属导柱(4)与所述第一面垂直;
将塑封材料覆盖在所述基板本体(21)上,形成塑封体(3),包括:
将塑封材料覆盖在所述基板本体(21)上,形成厚度小于或等于所述金属导柱(4)的高度的塑封体(3)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司,未经长江存储科技有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210872343.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种提高5G网络节能效率的方法
- 下一篇:一种具有智能降温功能的变电站





