[发明专利]半导体器件和半导体器件的加工方法在审

专利信息
申请号: 202210872343.1 申请日: 2022-07-20
公开(公告)号: CN115346943A 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 陈鹏;刘鹏;陶莉;周厚德;梁卿;徐晓东 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L23/48 分类号: H01L23/48;H01L23/12;H01L23/31;H01L21/50
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 庞茜
地址: 430000 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 半导体器件 加工 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体器件,其特征在于,所述半导体器件包括芯片(1)、基板(2)、和塑封体(3),所述基板(2)包括基板本体(21)、多个连接端子(22)和至少一个测试端子(23);其中,

所述芯片(1)位于所述基板本体(21)的第一面,且与所述基板本体(21)贴合;

所述多个连接端子(22)位于所述基板本体(21)远离所述芯片(1)的第二面,其中,所述第一面与所述第二面相对;

所述至少一个测试端子(23)位于所述基板本体(21)的第一面中所述芯片(1)所在区域之外的区域,每个测试端子(23)分别与一个连接端子(22)电性连接;

所述塑封体(3)至少覆盖在所述芯片(1)上。

2.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述至少一个测试端子(23)在所述第一面的正投影与所述芯片(1)在所述第一面的正投影具有间隔。

3.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述至少一个测试端子(23)在所述第一面的边缘中点对应的第一区域内,所述第一区域是以所述边缘中点为圆心的半圆形区域,所述半圆形区域的半径小于所述边缘中点到所述芯片(1)的最短距离。

4.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述至少一个测试端子(23)在所述第一面任意一个角的顶点对应的第二区域内,所述第二区域是以所述顶点为圆心的扇形区域,所述扇形区域的半径小于所述顶点到所述芯片(1)的最短距离。

5.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述塑封体(3)覆盖在所述基板本体(21)的第一面除所述测试端子(23)所在的区域。

6.根据权利要求5所述的半导体器件,其特征在于,所述半导体器件还包括至少一个金属导柱(4),所述金属导柱(4)一端与所述测试端子(23)固定连接,所述金属导柱(4)与所述第一面垂直,且所述金属导柱(4)的高度大于或等于所述塑封体(3)的厚度。

7.根据权利要求5所述的半导体器件,其特征在于,在所述测试端子(23)上覆盖有易拆除材料。

8.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述塑封体(3)覆盖在所述基板本体(21)的第一面上;

所述塑封体(3)沿垂直于所述第一面的方向远离所述基板(2)的一面具有至少一个标记(31),所述至少一个标记(31)在所述第一面上的正投影与所述至少一个测试端子(23)在所述第一面上的正投影交叠。

9.根据权利要求5-8任一项所述的半导体器件,其特征在于,所述塑封体(3)具有至少一个缺角。

10.一种半导体器件的加工方法,其特征在于,所述方法包括:

加工基板(2),其中,所述基板(2)包括基板本体(21)、多个连接端子(22)和至少一个测试端子(23),所述至少一个测试端子(23)位于所述基板本体(21)的第一面,所述多个连接端子(22)位于所述基板本体(21)的第二面,每个测试端子(23)分别与一个连接端子(22)电性连接,所述第一面与所述第二面相对;

将芯片(1)装配在所述基板本体(21)的第一面;

将塑封材料覆盖在所述基板本体(21)上,形成塑封体(3)。

11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,所述加工所述基板(2)之后,还包括:

在所述测试端子(23)上固定连接金属导柱(4),所述金属导柱(4)与所述第一面垂直;

将塑封材料覆盖在所述基板本体(21)上,形成塑封体(3),包括:

将塑封材料覆盖在所述基板本体(21)上,形成厚度小于或等于所述金属导柱(4)的高度的塑封体(3)。

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