[发明专利]一种增加DCB铜厚的方法在审
| 申请号: | 202210845532.X | 申请日: | 2022-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN115107324A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
| 发明(设计)人: | 蔡俊;贺贤汉;马敬伟;李炎;陆玉龙;董明锋 | 申请(专利权)人: | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号: | B32B9/00 | 分类号: | B32B9/00;B32B9/04;B32B15/04;B32B15/20;B32B7/10;C04B37/02;C23C8/10;C22F1/08;C22F1/02;C21D9/46 |
| 代理公司: | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人: | 张强 |
| 地址: | 224200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 增加 dcb 方法 | ||
1.一种增加DCB铜厚的方法,其特征在于:具体为以下步骤:
S1)根据覆铜陶瓷基板所需DCB铜片的厚度,设计若干种厚度组合方式,根据厚度组合方式准备对应厚度的铜片;
S2)取步骤S1)准备的铜片,分别进行底面热氧化预处理,得到单面氧化的铜片(1);
S3)取步骤S2)处理的铜片(1),堆叠放置,堆叠时上方铜片(1)的氧化面与下方铜片(1)的未被氧化面接触,形成DCB铜片,再将DCB铜片置于瓷片(2)上方叠放,DCB铜片的氧化面与瓷片(2)上表面接触,然后烧结,得到产品覆铜陶瓷基板。
2.根据权利要求1所述的一种增加DCB铜厚的方法,其特征在于:当DCB铜片厚度为0.4mm时,厚度组合方式为两片0.2mm铜片堆叠复合;
当DCB铜片厚度为0.45mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;
当DCB铜片厚度为0.5mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.3mm铜片堆叠复合或两片0.25mm铜片堆叠复合;
当DCB铜片厚度为0.55mm时,厚度组合方式为0.25mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;
当DCB铜片厚度为0.6mm时,厚度组合方式为两片0.3mm铜片堆叠复合。
3.根据权利要求1所述的一种增加DCB铜厚的方法,其特征在于:退火炉中设有11个温区,其中温区1的温度为510℃,温区2的温度为690℃,温区3的温度为790℃,温区4的温度为800℃,温区5的温度为800℃,温区6的温度为800℃,温区7的温度为800℃,温区8的温度为800℃,温区9的温度为720℃,温区10的温度为660℃,温区11的温度为640℃。
4.根据权利要求1所述的一种增加DCB铜厚的方法,其特征在于:步骤(2)中,底面热氧化预处理时,进口区氮气流量为55~65L/min,温区1上方的氮气流量为8~12L/min,温区2上方的氮气流量为8~12L/min,温区3上方的氮气流量为3~7L/min,温区4、温区5、温区6、温区7、温区8、温区9、温区10、温区11氮气流量为60~100L/min,冷却区氮气流量为25~45L/min,出口区氮气流量为50~60L/min。
5.根据权利要求1所述的一种增加DCB铜厚的方法,其特征在于:步骤(2)中,将铜片移入退火炉中进行底面热氧化预处理,底面在氮气、氧气混合氛围中氧化,氧化温度为500~800℃。
6.根据权利要求1所述的一种增加DCB铜厚的方法,其特征在于:底面热氧化时,氧气浓度为1200~1300ppm,其中,温区1下方的氮气流量为33~37L/min,温区2下方的氮气流量为33~37L/min,温区3下方的氮气流量为28~32L/min。
7.根据权利要求1所述的一种增加DCB铜厚的方法,其特征在于:退火炉空气排气流量为4~6L/min。
8.根据权利要求1所述的一种增加DCB铜厚的方法,其特征在于:步骤(3)中,烧结温度为1065~1083℃,烧结时间为9~13min。
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