[发明专利]一种背结太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种背结太阳能电池，其特征在于，包括：

P型硅基体(1)；

由内至外顺次层叠设置于所述P型硅基体(1)的第一主表面上的隧穿氧化层(2)、N型掺杂硅层(3)以及第一钝化减反层(4)；

贯穿所述第一钝化减反层(4)，与所述N型掺杂硅层(3)电连接的背面电极(5)；

设置于所述P型硅基体(1)的第二主表面上的第III族元素形成的P+局部前表面场(6)和第III族元素形成的正面电极(7)，其中，所述正面电极(7)与所述局部前表面场(6)连接，且所述局部前表面场(6)的位置与所述正面电极(7)的位置相对应；

形成于所述P型硅基体(1)的第二主表面上未设置所述正面电极(7)的区域以及所述正面电极(7)正面、侧面的第二钝化减反层(8)。

2.根据权利要求1所述的背结太阳能电池，其特征在于，还包括：

贯穿所述第二钝化减反层(8)，与所述正面电极(7)电连接的正面焊盘(9)。

3.根据权利要求1所述的背结太阳能电池，其特征在于，所述正面电极(7)包括：多条细栅(71)以及与所述多条细栅(71)交叉设置的多条主栅(72)，其中，

每一条所述细栅(71)和每一条所述主栅(72)分别对应有各自的局部前表面场(6)；

每一条所述细栅(71)和每一条所述主栅(72)分别与其对应的所述局部前表面场(6)连接。

4.根据权利要求1或3所述的背结太阳能电池，其特征在于，

所述局部前表面场(6)由其所对应的正面电极(7)的第III族元素掺杂到所述P型硅基体(1)部分区域形成。

5.根据权利要求3所述的背结太阳能电池，其特征在于，

所述正面焊盘(9)与所述主栅(72)电连接。

6.根据权利要求3所述的背结太阳能电池，其特征在于，

多条所述细栅(71)和多条所述主栅(72)通过物理沉积纯金属铝形成。

7.根据权利要求1或5所述的背结太阳能电池，其特征在于，

所述正面焊盘(9)为银制焊盘。

8.根据权利要求7所述的背结太阳能电池，其特征在于，还包括：

设置于所述正面电极(7)与所述正面焊盘(9)之间的金属镍阻挡层(10)。

9.根据权利要求1、3、6以及8中任一项所述的背结太阳能电池，其特征在于，

所述正面电极(7)包括的细栅(71)的条数小于所述背面电极(5)包括细栅的条数。

10.权利要求1至9任一所述背结太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

步骤S1、在P型硅基体(1)的第一主表面形成隧穿氧化层(2)；

步骤S2、在所述隧穿氧化层(2)上形成N型掺杂硅层(3)；

步骤S3、利用第III族元素，在所述P型硅基体(1)的第二主表面形成正面电极(7)；

步骤S4、在所述N型掺杂硅层(3)上形成第一钝化减反层(4)，并在所述P型硅基体(1)的第二主表面上未设置所述正面电极(7)的区域以及所述正面电极(7)正面、侧面形成第二钝化减反层(8)；

步骤S5、在所述第一钝化减反层(4)上印刷背面电极(5)；

步骤S6、烧结工序，以使所述正面电极的第III族元素与所述P型硅基体(1)的部分区域进行掺杂反应形成局部P+前表面场(6)，并使所述背面电极(5)烧穿所述第一钝化减反层(4)，以形成所述背面电极(5)与所述N型掺杂硅层(3)电连接的结构。