[发明专利]基于X射线测量的铜箔厚度面密度一致性自适应控制方法

权利要求书

1.一种基于X射线测量的铜箔厚度面密度一致性自适应控制方法，其特征在于，包括：

采集铜箔厚度/面密度数据；

根据铜箔厚度/面密度数据以及工艺数据获取偏差调节量；以及

根据偏差调节量进行偏差自适应调节。

2.如权利要求1所述的基于X射线测量的铜箔厚度面密度一致性自适应控制方法，其特征在于，

所述采集铜箔厚度/面密度数据的方法包括：

通过X射线探测器对铜箔厚度/面密度的扫描测量，获取铜箔厚度/面密度数据。

3.如权利要求2所述的基于X射线测量的铜箔厚度面密度一致性自适应控制方法，其特征在于，

X射线探测器包括：X射线发射源以及接收探测头；

铜箔放置在X射线发射源以及接收探测头之间，并通过往复移动X射线发射源以及接收探测头以完成测量。

4.如权利要求3所述的基于X射线测量的铜箔厚度面密度一致性自适应控制方法，其特征在于，

所述根据铜箔厚度/面密度数据以及工艺数据获取偏差调节量的方法包括：

根据铜箔厚度/面密度数据对电解铜箔生产过程中横向面密度、纵向面密度的双闭环控制，即

控制电动比例调节阀的开度完成横向面密度的闭环控制，以及

对生产工艺数据的检测，以控制CuSO4电解液流量和均匀性完成纵向面密度的闭环控制。

5.如权利要求4所述的基于X射线测量的铜箔厚度面密度一致性自适应控制方法，其特征在于，

采用模糊控制方法进行电动比例调节阀开度的控制。

6.如权利要求5所述的基于X射线测量的铜箔厚度面密度一致性自适应控制方法，其特征在于，

所述模糊控制的方法包括：

测量每一个电动比例调节阀所对应的电解铜箔分区的厚度与面密度值，并结合与厚度/面密度相关的生产工艺参数，建立模糊控制规则表，通过模糊控制规则表获取电动比例调节阀的开度值，以完成自适应闭环控制。

7.如权利要求6所述的基于X射线测量的铜箔厚度面密度一致性自适应控制方法，其特征在于，

所述根据偏差调节量进行偏差自适应调节的方法包括：

根据电动比例调节阀的开度值通过专用阀门控制器控制对应电动比例调节阀。

8.一种基于X射线测量的铜箔厚度与面密度一致性自适应控制系统，其特征在于，包括：

采集模块，采集铜箔厚度/面密度数据；

计算模块，根据铜箔厚度/面密度数据以及工艺数据获取偏差调节量；以及

调节模块，根据偏差调节量进行偏差自适应调节。