[发明专利]一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清理设备

权利要求书

1.一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清理设备，其特征在于，包括：

两个吸盘（1），两个吸盘（1）上下对称，并且所述吸盘（1）保持水平状态，所述吸盘（1）表面均匀连通设置有多个吸孔，所述吸盘（1）的外侧呈环形均匀设置有多个导水仓（2），所述导水仓（2）倾斜，所述导水仓（2）的侧壁上均匀设置有多个喷水孔，所述喷水孔的方向倾斜朝向另一个吸盘（1）表面；

刷辊（3），所述刷辊（3）横向位于两个吸盘（1）之间。

2.如权利要求1所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清理设备，其特征在于，所述吸盘（1）的外表面设置有圆形槽板（4），所述吸盘（1）上的吸孔与所述圆形槽板（4）内部连通，所述圆形槽板（4）的外端连通设置有第一导气筒（5），所述第一导气筒（5）内部滑动套装有第二导气筒（6），所述第一导气筒（5）与所述第二导气筒（6）连通；

还包括外箱体（7），所述外箱体（7）位于吸盘（1）、导水仓（2）、刷辊（3）、圆形槽板（4）、第一导气筒（5）和第二导气筒（6）的外侧，所述第二导气筒（6）的外端固定在所述外箱体（7）的内壁上，所述第一导气筒（5）上设置有推动机构，所述推动机构用于推动第一导气筒（5）在第二导气筒（6）上滑动；

所述外箱体（7）的外壁上开设有料口，所述外箱体（7）上的料口上铰接有盖板（8），所述外箱体（7）底部连通设置有排水管（9）；

所述外箱体（7）的外侧壁上设置有二位三通电磁阀（10），所述二位三通电磁阀（10）的输入端和两个输出端上均连通设置有第一气管（11），所述二位三通电磁阀（10）输入端上的第一气管（11）与外界气泵连通，所述二位三通电磁阀（10）两个输出端上的两个第一气管（11）分别与两个第二导气筒（6）连通。

3.如权利要求2所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清理设备，其特征在于，所述第一导气筒（5）外壁上转动套装有环形导气槽板（12），所述环形导气槽板（12）与所述第一导气筒（5）内部连通，所述环形导气槽板（12）的圆周外壁上均匀连通设置有多根弧形滑套（13），所述弧形滑套（13）内滑动设置有弧形导水管（14），所述弧形导水管（14）的外端与所述导水仓（2）连接，并且所述弧形导水管（14）与所述导水仓（2）连通，所述弧形滑套（13）内的所述弧形导水管（14）端部密封，所述弧形导水管（14）的外壁上设置有板簧（15），所述板簧（15）的外端固定在所述弧形滑套（13）上；

所述弧形滑套（13）内的所述弧形导水管（14）外壁上开设有导水孔，所述弧形滑套（13）的外壁上连通设置有第一水管（16），所述第一水管（16）输出端通过所述弧形导水管（14）上的导水孔与所述弧形导水管（14）内部连通；

多根第一水管（16）的输入端设置有第一环形导水槽板（17），所述第一水管（16）与所述第一环形导水槽板（17）连通，所述第一环形导水槽板（17）的外侧滑动设置有第二环形导水槽板（18），所述第二环形导水槽板（18）与所述第一环形导水槽板（17）连通，所述第二环形导水槽板（18）固定在所述推动机构上，所述第二环形导水槽板（18）的圆周外壁连通设置有第二水管（19），所述第二水管（19）的输入端与外界水泵连通；

所述环形导气槽板（12）上设置有动力机构，所述动力机构用于带动环形导气槽板（12）转动。

4.如权利要求3所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清理设备，其特征在于，所述推动机构包括托盘（20），所述托盘（20）安装在所述第一导气筒（5）的外壁上，并且所述第二环形导水槽板（18）安装在所述托盘（20）上，所述托盘（20）的外壁上均匀设置有多组第一气缸（21），所述第一气缸（21）的固定端安装在所述外箱体（7）的内壁上。

5.如权利要求4所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清理设备，其特征在于，所述动力机构包括套设在所述第一导气筒（5）外侧的外齿环（22），所述外齿环（22）固定在所述环形导气槽板（12）上，所述外齿环（22）的外侧啮合设置有第一齿轮（23），所述托盘（20）上设置有电机（24），所述电机（24）的输出端与所述第一齿轮（23）传动连接。