[发明专利]显示面板及蒸镀装置在审
申请号: | 202210762919.9 | 申请日: | 2022-06-29 |
公开(公告)号: | CN115101705A | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 匡友元 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/687;C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨瑞 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 装置 | ||
本申请公开了一种显示面板及蒸镀装置,该显示面板有机发光功能层的基板包括多个第一基底以及围绕多个第一基底设置的第二基底,所述第一基底的机械强度大于所述第二基底的机械强度;本申请通过使第一基底的机械强度大于第二基底的机械强度,以使蒸镀装置中的承载卡盘移动以完成对基板的蒸镀过程后,第一基底与承载卡盘上的针孔对应设置,从而在当针脚将基板顶起以使基板与承载卡盘分离时,第一基底与第二基底连接的位置难以发生破裂,从而实现达到提升产品良率的技术效果。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板及蒸镀装置。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)是一种有机薄膜电致发光器件,其具有易形成柔性结构、视角宽等优点;因此,利用有机发光二极管的显示技术已成为一种重要的显示技术。
在目前大尺寸OLED面板生产过程中,为了防止基板下垂,通常会在基板的背面贴附胶粘剂,然后将基板背面与承载卡盘相互粘附,从而控制基板的下垂量;当基板成膜结束以后,通过针脚的升降,使针脚自承载卡盘的针孔穿过以将基板顶起,以使基板与承载卡盘的承载面分离。但是在分离过程中,由于基板与承载卡盘粘贴过紧,针脚将基板顶起时会使基板受到较大的应力,导致基板容易在胶粘剂的边缘交界处发生破裂,从而造成产品不良,进一步影响成品的生产良率。
因此,如何减小基板与针脚在分离时产生的应力成为大尺寸OLED面板蒸镀成膜急需解决的技术问题。
发明内容
本申请提供一种蒸镀装置及蒸镀方法,以改善现有大尺寸OLED面板蒸镀成膜时基板与针脚在分离时容易破裂的技术问题。
为解决上述方案,本申请提供的技术方案如下:
本申请实施例提供一种显示面板,包括基板以及设置于所述基板上的有机发光功能层,所述基板包括多个第一基底以及围绕多个所述第一基底设置的第二基底;
其中,所述第一基底的机械强度大于所述第二基底的机械强度。
在本申请实施例提供的显示面板中,所述第一基底包括第一子部以及与所述第一子部连接的第二子部,所述第二子部位于所述第一子部远离所述有机发光功能层的一侧;
其中,所述第一基底的厚度与所述第二基底的厚度相同,所述第二子部的机械强度大于所第一子部的机械强度。
在本申请实施例提供的显示面板中,所述第一基底包括基板主体以及位于所述基板主体上的强化层;
其中,所述第一基底的厚度大于所述第二基底的厚度,所述强化层的机械强度大于所述基板主体的机械强度。
在本申请实施例提供的显示面板中,所述强化层的材料包括锂霞石结晶材料、富二氧化硅材料、微晶体材料以及硅酸钠材料中的任意一种。
在本申请实施例提供的显示面板中,所述第一基底与所述第二基底的强度比值在1.01至5之间。
相应地,本申请实施例提供一种蒸镀装置,用于蒸镀如上任一项所述的显示面板,包括底座以及位于所述底座上的承载卡盘,所述底座上还设置有针脚,所述针脚能够相对于所述底座移动,所述承载卡盘上设置有与所述针脚对应设置的针孔,所述针脚穿过所述针孔以吸附所述基板;
其中,每一所述第一基底与每一所述针孔一一对应设置。
在本申请实施例提供的蒸镀装置中,所述针脚包括支撑部以及与所述支撑部连接的顶针部;
其中,在所述底座的俯视图方向上,所述顶针部在所述底座的正投影面积大于或等于所述支撑部在所述底座的正投影面积的0.5倍。
在本申请实施例提供的蒸镀装置中,所述顶针部的机械强度小于所述支撑部的机械强度,所述顶针部的材料包括软性橡胶材料。
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