[发明专利]显示面板及蒸镀装置在审
| 申请号: | 202210762919.9 | 申请日: | 2022-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN115101705A | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
| 发明(设计)人: | 匡友元 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/687;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨瑞 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 显示 面板 装置 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
基板,包括多个第一基底以及围绕多个所述第一基底设置的第二基底;
有机发光功能层,设置于所述基板上;
其中,所述第一基底的机械强度大于所述第二基底的机械强度。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一基底包括第一子部以及与所述第一子部连接的第二子部,所述第二子部位于所述第一子部远离所述有机发光功能层的一侧;
其中,所述第一基底的厚度与所述第二基底的厚度相同,所述第二子部的机械强度大于所第一子部的机械强度。
3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一基底包括基板主体以及位于所述基板主体上的强化层;
其中,所述第一基底的厚度大于所述第二基底的厚度,所述强化层的机械强度大于所述基板主体的机械强度。
4.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述强化层的材料包括锂霞石结晶材料、富二氧化硅材料、微晶体材料以及硅酸钠材料中的任意一种。
5.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一基底与所述第二基底的强度比值在1.01至5之间。
6.一种蒸镀装置,用于蒸镀如权利要求1至5任一项所述的显示面板,其特征在于,包括底座以及位于所述底座上的承载卡盘,所述底座上还设置有针脚,所述针脚能够相对于所述底座移动,所述承载卡盘上设置有与所述针脚对应设置的针孔,所述针脚穿过所述针孔以吸附所述基板;
其中,每一所述第一基底与每一所述针孔一一对应设置。
7.根据权利要求6所述的蒸镀装置,其特征在于,所述针脚包括支撑部以及与所述支撑部连接的顶针部;
其中,在所述底座的俯视图方向上,所述顶针部在所述底座的正投影面积大于或等于所述支撑部在所述底座的正投影面积的0.5倍。
8.根据权利要求7所述的蒸镀装置,其特征在于,所述顶针部的机械强度小于所述支撑部的机械强度,所述顶针部的材料包括软性橡胶材料。
9.根据权利要求7所述的蒸镀装置,其特征在于,所述顶针部在所述强化层上的正投影位于所述强化层内。
10.根据权利要求6所述的蒸镀装置,其特征在于,所述蒸镀装置还包括贴附于所述基板上的粘合层,所述粘合层介于所述基板与所述承载卡盘之间;
其中,所述粘合层包括多个间隔设置的子粘合层,每一个所述针孔对应设置相邻的两个所述子粘合层之间。
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