[发明专利]一种外延设备晶圆传送装置

权利要求书

1.一种外延设备晶圆传送装置，包括装置本体(1)和设于装置本体(1)上的真空腔(2)，其特征在于：所述装置本体(1)上设有洁净空间，所述洁净空间内设有取放部件(3)、第一片盒(4)和第二片盒(5)；

所述真空腔(2)用于生长外延层并设有门阀(21)，所述真空腔(2)设于所述洁净空间的一侧并通过所述门阀(21)的开闭实现与所述洁净空间连通或间断；

所述第一片盒(4)用于存放反应前的晶圆(9)；所述第二片盒(5)用于存放反应后的晶圆(9)；所述取放部件(3)用于将所述第一片盒(4)中的晶圆(9)取出放置于所述真空腔(2)中，再从所述真空腔(2)中取出反应后的晶圆(9)放置于所述第二片盒(5)中。

2.根据权利要求1所述的外延设备晶圆传送装置，其特征在于：所述第一片盒(4)和所述第二片盒(5)均设于片盒支撑座(6)上并位于所述取放部件(3)相对应的两侧，所述真空腔(2)、所述第一片盒(4)和所述第二片盒(5)呈“品”字形布置。

3.根据权利要求1所述的外延设备晶圆传送装置，其特征在于：所述装置本体(1)上设有用于打开或关闭所述洁净空间的门板(7)，所述门板(7)的一侧通过铰链锁(71)与所述装置本体(1)铰接，另一侧通过电磁锁(72)与所述装置本体(1)连接。

4.根据权利要求3所述的外延设备晶圆传送装置，其特征在于：所述门板(7)上设有限位片(73)，所述限位片(73)上设有限位孔(731)，所述电磁锁(72)上设有可伸入所述限位孔(731)中的锁止轴(723)。

5.根据权利要求4所述的外延设备晶圆传送装置，其特征在于：所述电磁锁(72)包括电磁线圈(721)、轴套(722)和第一弹簧(724)，所述轴套(722)穿设于所述电磁线圈(721)中并套设于所述锁止轴(723)外，所述第一弹簧(724)设于所述轴套(722)与所述锁止轴(723)之间并用于使所述锁止轴(723)伸入所述限位孔(731)中。

6.根据权利要求4所述的外延设备晶圆传送装置，其特征在于：所述锁止轴(723)的端部设有凸缘部(725)，所述限位片(73)上设有弯折部(732)。

7.根据权利要求3所述的外延设备晶圆传送装置，其特征在于：所述装置本体(1)上设有弹簧座(12)，所述弹簧座(12)上设有推块(13)和第二弹簧(14)，所述第二弹簧(14)设于所述弹簧座(12)和所述推块(13)之间并用于将所述推块(13)推出与关闭的所述门板(7)抵接。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的外延设备晶圆传送装置，其特征在于：所述取放部件(3)包括机械手(31)，所述机械手(31)上设有洁净手指(311)，所述洁净手指(311)上设有负压吸引口(312)。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的外延设备晶圆传送装置，其特征在于：所述洁净空间内还设有用于检测晶圆(9)外观缺陷的寻边器(8)。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的外延设备晶圆传送装置，其特征在于：所述真空腔(2)内设有托盘(22)，所述托盘(22)上设有用于减少所述托盘(22)与晶圆(9)之间吸附力的沟槽(221)。