[发明专利]激光控制装置及激光脉冲切取方法

说明书

本发明提供一种能够提高激光脉冲的能量利用效率的激光控制装置。激光振荡器输出脉冲激光束。脉冲激光束入射到切取光学系统。切取光学系统具有如下特性：在输入切取指令之后经过了一定的动作延迟时间的时刻，开始从脉冲激光束中切取一部分激光脉冲。激光控制装置在激光脉冲的上升时刻之前的时刻向切取光学系统输出切取指令，并且以使从输出切取指令的时刻起经过了动作延迟时间的时刻在激光脉冲的上升时刻之后的方式输出切取指令。

本申请主张基于2021年7月2日申请的日本专利申请第2021-110774号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种激光控制装置及激光脉冲切取方法。

背景技术

已知有一种使用激光束对印刷基板等进行钻孔加工的激光加工装置(参考专利文献1)。专利文献1中所公开的激光加工装置包括输出脉冲激光束的激光振荡器及从激光脉冲切取一部分的声光调制器。在激光脉冲上升之后，向声光调制器施加切取指令，从而从激光脉冲切取一部分激光脉冲。切取的激光脉冲入射到加工对象物，而剩余的激光脉冲则输入到光束截止器。

专利文献1：日本特开2017-159317号公报

在声光调制器等切取光学系统中，在从输入切取指令到实际进行激光脉冲的切取为止产生动作延迟。因此，从激光脉冲的上升到输入切取指令为止的期间及从输入切取指令到实际进行切取为止的期间的激光脉冲的能量会被白白浪费掉。换言之，激光脉冲的能量的利用效率会降低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够提高激光脉冲的能量利用效率的激光控制装置及激光脉冲切取方法。

根据本发明的一观点，提供一种激光控制装置，其控制激光振荡器及切取光学系统，其中，所述激光振荡器，输出脉冲激光束，所述切取光学系统具有如下特性：在所述脉冲激光束入射且输入切取指令之后经过了一定的动作延迟时间的时刻，开始从所述脉冲激光束中切取一部分激光脉冲，

所述激光控制装置进行如下控制：

在所述激光脉冲的上升时刻之前的时刻，向所述切取光学系统输出所述切取指令，并且以使从输出所述切取指令的时刻起经过了所述动作延迟时间的时刻在所述激光脉冲的上升时刻之后的方式输出所述切取指令。

根据本发明的另一观点，提供一种激光脉冲切取方法，其使激光振荡器输出激光脉冲入射到切取光学系统，从而从所述激光脉冲中切取一部分激光脉冲，其中

所述切取光学系统具有如下特性：在输入切取指令之后经过了一定的动作延迟时间的时刻，开始从所述激光脉冲中切取一部分激光脉冲，

在所述激光脉冲的上升时刻之前的时刻，向所述切取光学系统输出所述切取指令，并且以使从输出所述切取指令的时刻起经过了所述动作延迟时间的时刻在所述激光脉冲的上升时刻之后的方式输出所述切取指令。

若以上述条件输出切取指令，则从激光脉冲的上升到开始切取为止的时间变得比动作延迟时间更短。因此，能够提高激光脉冲的能量利用效率。

附图说明

图1是搭载有基于一实施例的激光控制装置的激光加工机的概略图。

图2是表示存储于存储部的相关信息的一例的图表。

图3是表示存储于存储部的相关信息的另一例的曲线图。

图4中(A)及(B)分别是本实施例及比较例的激光控制装置动作的情况下的振荡指令trg、激光脉冲LP0、切取指令chp及激光脉冲LP1的时序图。

图5是表示基于本实施例的激光控制装置所执行的激光脉冲的切取步骤的流程图。

图6是表示确定脉冲输出延迟时间td的步骤的流程图。