[发明专利]激光控制装置及激光脉冲切取方法

权利要求书

1.一种激光控制装置，其控制激光振荡器及切取光学系统，其中，所述激光振荡器输出脉冲激光束，所述切取光学系统具有如下特性：在所述脉冲激光束入射且输入切取指令之后经过了一定的动作延迟时间的时刻，开始从所述脉冲激光束中切取一部分激光脉冲，

所述激光控制装置的特征在于，进行如下控制：

在所述激光脉冲的上升时刻之前的时刻，向所述切取光学系统输出所述切取指令，并且以使从输出所述切取指令的时刻起经过了所述动作延迟时间的时刻成为所述激光脉冲的上升时刻之后的方式输出所述切取指令。

2.根据权利要求1所述的激光控制装置，其特征在于，

所述激光振荡器与振荡指令的输入同步地输出所述激光脉冲，

所述激光控制装置进一步进行如下控制：

向所述激光振荡器输出所述振荡指令；

将所述振荡指令所指示的脉冲的重复频率及脉冲宽度中的至少一个与脉冲输出延迟时间建立对应关联的相关信息进行存储；

根据从所述振荡指令所指示的脉冲的重复频率及脉冲宽度中的至少一个和所述相关信息获得的所述脉冲输出延迟时间及所述动作延迟时间，确定比所述脉冲输出延迟时间更短并且比从所述脉冲输出延迟时间减去所述动作延迟时间而得的值更长的切取指令延迟时间；

根据所确定的所述切取指令延迟时间，从所述振荡指令的输出时刻延迟向所述切取光学系统输出所述切取指令。

3.根据权利要求2所述的激光控制装置，其特征在于，进一步进行如下控制：

接收来自光检测器的检测信号，其中，所述光检测器检测从所述激光振荡器输出的所述激光脉冲；

测定从输出所述振荡指令到输入所述检测信号为止的延迟时间，并根据延迟时间的测定值来求出所述脉冲输出延迟时间；

将由所述振荡指令指示的脉冲的重复频率及脉冲宽度中的至少一个与根据延迟时间的测定值来求出的所述脉冲输出延迟时间之间的关系存储为所述相关信息。

4.一种激光脉冲切取方法，其使激光振荡器输出激光脉冲入射到切取光学系统，从而从所述激光脉冲中切取一部分激光脉冲，其特征在于，

所述切取光学系统具有如下特性：在输入切取指令后经过了一定的动作延迟时间的时刻，开始从所述激光脉冲中切取一部分激光脉冲，

在所述激光脉冲的上升时刻之前的时刻，向所述切取光学系统输出所述切取指令，并且以使从输出所述切取指令的时刻起经过了所述动作延迟时间的时刻成为所述激光脉冲的上升时刻之后的方式输出所述切取指令。