[发明专利]检查装置、位置调整单元及位置调整方法

权利要求书

1.一种检查装置，其使用与被检查体的电极电接触的触头，检查所述被检查体的电特性，所述检查装置的特征在于，具备：

位置调整单元，其具有所述触头、调整所述触头的顶端位置的位置调整部、检测所述触头与所述电极的接触载荷值的载荷检测部；

位置导出部，其基于特定方向上的所述触头的接触位移量与所述触头及所述电极的接触载荷值的关系，导出特定方向上的所述触头的初始位置；以及

移动执行部，其基于由所述位置导出部导出的、特定方向上的所述初始位置，使所述触头的顶端位置移动。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述触头为悬臂型触头，

所述位置导出部基于特定方向上的所述触头的接触位移量与所述触头及所述电极的接触载荷值的比例关系，导出特定方向上的所述触头的初始位置。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

在所述触头与所述电极接触后，所述位置导出部至少测定2个以上测定结果，所述测定结果包含特定方向上的所述触头的接触位移量和此时的接触载荷值，

使用每单位长度的载荷变化值和所述测定结果导出特定方向上的所述触头的初始位置，所述每单位长度的载荷变化值是利用2个以上的所述测定结果而导出的。

4.一种位置调整单元，其调整与被检查体的电极电接触的触头的顶端位置，所述位置调整单元的特征在于，具有：

位置调整部，其调整所述触头的顶端位置；

载荷检测部，其检测所述触头与所述电极的接触载荷值；

位置导出部，其基于特定方向上的所述触头的接触位移量与所述触头及所述电极的接触载荷值的关系，导出特定方向上的所述触头的初始位置；以及

移动执行部，其基于由所述位置导出部导出的、特定方向上的所述初始位置，使所述触头的顶端位置移动。

5.一种位置调整方法，其通过位置调整单元来调整与被检查体的电极电接触的触头的顶端位置，所述位置调整单元具有：

触头；

位置调整部，其调整所述触头的顶端位置；以及

载荷检测部，其检测所述触头与所述电极的接触载荷值，

所述位置调整方法的特征在于，

位置导出部基于特定方向上的所述触头的接触位移量与所述触头及所述电极的接触载荷值的关系，导出特定方向上的所述触头的初始位置，

移动执行部基于由所述位置导出部导出的、特定方向上的所述初始位置，使所述触头的顶端位置移动。