[发明专利]一种硅片研磨料浆循环装置

权利要求书

1.一种硅片研磨料浆循环装置，其特征在于，包括：

粗过滤器，用于对硅片研磨料浆进行粗过滤；

料浆收集桶，用于收集经过粗过滤的硅片研磨料浆；

皮带式过滤机构，用于对料浆收集桶内的硅片研磨料浆进行精过滤；

料浆输出桶，用于收集经过精过滤的硅片研磨料浆；其中，料浆输出桶具有料浆输出口，用于输出硅片研磨料浆以对硅片进行研磨加工。

2.根据权利要求1所述的一种硅片研磨料浆循环装置，其特征在于，所述料浆收集桶通过输送管路连通至皮带式过滤机构的上方，并通过喷淋头将硅片研磨料浆喷淋至皮带式过滤机构；

其中，输送管路设有砂泵。

3.根据权利要求2所述的一种硅片研磨料浆循环装置，其特征在于，所述皮带式过滤机构包括机架和安装于机架的主动辊、从动辊、传送过滤带、集液槽和驱动机构，传送过滤带绕设于主动辊与从动辊，驱动机构用于驱动主动辊转动，集液槽用于收集经过传送过滤带精过滤后的硅片研磨料浆。

4.根据权利要求3所述的一种硅片研磨料浆循环装置，其特征在于，所述驱动机构包括电机、小同步带轮、大同步带轮和同步带，小同步带轮与电机的电机轴同轴连接，大同步带轮与主动辊同轴连接，同步带绕设于小同步带轮与大同步带轮。

5.根据权利要求3所述的一种硅片研磨料浆循环装置，其特征在于，所述机架的一侧设有喷淋冲洗设备，用于对传送过滤带进行喷淋冲洗。

6.根据权利要求5所述的一种硅片研磨料浆循环装置，其特征在于，所述机架上还设有集料槽，集料槽用于收集传送过滤带上的残留料浆以及喷淋冲洗水。

7.根据权利要求6所述的一种硅片研磨料浆循环装置，其特征在于，所述集料槽通过排废管道与外界连通。

8.根据权利要求1所述的一种硅片研磨料浆循环装置，其特征在于，所述料浆收集桶内设有搅拌机构。

9.根据权利要求1所述的一种硅片研磨料浆循环装置，其特征在于，所述料浆输出桶内设有搅拌机构。

10.根据权利要求8或9所述的一种硅片研磨料浆循环装置，其特征在于，所述搅拌机构包括搅拌电机、搅拌轴和搅拌叶片，搅拌电机与搅拌轴传动连接，搅拌叶片设于搅拌轴。