[发明专利]清洗装置

权利要求书

1.一种清洗装置，其使用清洗水对被清洗物进行清洗，回收废液而使纯水再生并进行循环，其特征在于，

该清洗装置具有：

保持工作台，其对被清洗物进行保持；

清洗水提供喷嘴，其向该保持工作台所保持的被清洗物提供清洗水；

废液罐，其将在被清洗物的清洗中使用后的清洗水作为废液而进行收纳；

废液泵，其从该废液罐汲取该废液；

过滤器，其对该废液泵所汲取的该废液进行过滤而精制成清水；

清水罐，其对该清水进行收纳；

紫外光源，其向该清水照射紫外线；

清水泵，其从该清水罐汲取该清水；

离子交换树脂单元，其通过使该清水泵所汲取的该清水与离子交换树脂接触而精制纯水；以及

电阻率值计，其对该纯水的电阻率值进行测量。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

该清洗装置具有对该保持工作台、该清洗水提供喷嘴、该废液罐、该废液泵、该过滤器、该清水罐、该紫外光源、该清水泵、该离子交换树脂单元以及该电阻率值计进行收纳的壳体。

3.根据权利要求1或2所述的清洗装置，其特征在于，

该清洗装置还具有精密过滤器，该精密过滤器对由该离子交换树脂单元精制且利用该电阻率值计测量电阻率值之前的纯水进行过滤。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的清洗装置，其特征在于，

该清洗装置还具有切换阀，该切换阀与通向该废液罐的第1流路和通向该清洗水提供喷嘴的第2流路连接，根据该纯水的该电阻率值而将该纯水的流出目的地切换成该第1流路和该第2流路中的一方。

5.根据权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，

在该切换阀使该纯水的流出目的地为该第2流路时，该清水泵作为将该纯水提供至该清洗水提供喷嘴的提供驱动源而发挥功能。