[发明专利]衬底干燥装置

说明书

本发明提供一种衬底干燥装置，其不仅可以改善在衬底干燥空间内形成的气体的流动并提高衬底的干燥效率，还可以防止外部颗粒流入干燥空间或飞散的雾重新吸附到衬底上，可以提高装置的小型化和耐久性。为此，本发明公开了以下特征，包括：内部壳体，其包括主体壳体和排气壳体，主体壳体在下部形成用于衬底干燥的气体流入的流入孔，在内部形成收纳用于衬底干燥的气体的收纳空间，排气壳体沿与衬底的传送方向交叉的方向结合到主体壳体的两端部，在内部形成与收纳空间连通的排气流路；灯，配置在形成于主体壳体和衬底之间的干燥空间，辐射用于衬底干燥的热量；外部壳体，下部开放以覆盖主体壳体和灯，在与主体壳体之间形成引导气体流动的供气流路。

技术领域

本发明涉及一种衬底干燥装置，具体而言，涉及这样一种衬底干燥装置，该衬底干燥装置不仅可以改善在衬底干燥空间内形成的气体流动并提高衬底的干燥效率，而且可以防止外部颗粒流入干燥空间或飞散的雾重新吸附到衬底上，并且可以提高装置的小型化和耐久性。

背景技术

通常，用于制造显示器的衬底是通过重复执行沉积、图案形成、蚀刻、化学/机械抛光、清洗、干燥等单元工序来制造的。

在这些单元工序中，清洗工序是用于去除在执行各单元工序期间附着在衬底表面上的杂质或不需要的膜等的工序，并且在经过这样的清洗工序之后，执行用于去除残留在衬底上的水分或雾的干燥工序。

通常，在衬底干燥工序中向衬底喷射加热后的干燥空气或者使用红外线灯将传送衬底的区域形成为高温气氛，由此除去衬底上存在的水分或雾。

然而，在干燥空气的喷射或使用红外线灯的干燥之后，在衬底的表面处会残留有肉眼无法确认的雾，而这样的雾成为导致沉积工序等后续工序中的缺陷的主要因素。

特别是，在向衬底的表面吹送干燥空气的过程中，在干燥空间内产生负压或形成不稳定的气流，并且外部气体容易流入干燥空间，由此发生外部气体中所含的颗粒附着于衬底上的问题。此外，由于干燥空间内的不稳定气流，发生从衬底分离的雾飞散并重新吸附到衬底上的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：韩国公开专利公报第2019-0137449号(2019年12月11日公开)

发明内容

发明所要解决的技术问题

用于解决上述问题的本发明的目的在于提供一种衬底干燥装置，该衬底干燥装置不仅可以改善在衬底干燥空间内形成的气体的流动并提高衬底的干燥效率，而且可以防止外部颗粒流入干燥空间或飞散的雾重新吸附到衬底上，并且可以提高装置的小型化和耐久性。

本发明所要解决的技术问题不限于上述技术问题，并且本发明所属领域的技术人员可以通过以下描述清楚地理解其他未提及的技术问题。

用于解决问题的手段

用于解决上述问题的根据本发明的实施例的衬底干燥装置的特征在于，包括：内部壳体，所述内部壳体包括主体壳体和排气壳体，所述主体壳体在下部形成有用于衬底干燥的气体流入的流入孔，并且在内部形成有收纳用于衬底干燥的气体的收纳空间，所述排气壳体结合到所述主体壳体的两端部，并且在内部形成有与所述收纳空间连通的排气流路；灯，配置在形成于所述主体壳体和衬底之间的干燥空间中，辐射用于衬底干燥的热量；以及外部壳体，下部开放以覆盖所述主体壳体和所述灯，并且在与所述主体壳体之间形成有引导气体流动的供气流路。

由此，从外部流入的外部气体在沿着包围所述收纳空间的所述供气流路移动中与收纳在所述收纳空间中的气体进行热交换而被预热，预热后的气体在移动到所述干燥空间的同时被所述灯进一步加热，并且用于衬底的干燥，用于衬底干燥的气体在收纳于所述收纳空间中的同时与沿所述供气流路移动的所述外部气体进行热交换而被冷却之后，可以被排出到所述排气流路。