[发明专利]衬底干燥装置

权利要求书

1.一种衬底干燥装置，其特征在于，包括：

内部壳体，包括：主体壳体和排气壳体，所述主体壳体在下部形成有用于衬底干燥的气体流入的流入孔，并且在内部形成有收纳用于衬底干燥的气体的收纳空间，所述排气壳体结合到所述主体壳体的两端部，并且在内部形成有与所述收纳空间连通的排气流路；

灯，配置在形成于所述主体壳体和衬底之间的干燥空间中，辐射用于衬底干燥的热量；以及

外部壳体，下部开放以覆盖所述主体壳体和所述灯，并且在与所述主体壳体之间形成有引导气体流动的供气流路，

从外部流入的外部气体在沿着包围所述收纳空间的所述供气流路移动中与收纳在所述收纳空间中的气体进行热交换而被预热，

预热后的气体在移动到所述干燥空间的同时被所述灯进一步加热，并且用于衬底的干燥，

用于衬底干燥的气体在收纳于所述收纳空间中的同时与沿所述供气流路移动的所述外部气体进行热交换而被冷却之后，被排出到所述排气流路。

2.根据权利要求1所述的衬底干燥装置，其特征在于，流入所述供气流路的气体以衬底的传送方向为基准，分为配置在前方的前方供气流路和配置在后方的后方供气流路，并且在所述干燥空间的前方区域和后方区域中朝向所述干燥空间的中心部彼此相对地流动。

3.根据权利要求1所述的衬底干燥装置，其特征在于，还包括：外部气体供给部，与形成在所述外部壳体的上部处的流入口连接，用于将外部气体供给到所述供气流路侧。

4.根据权利要求3所述的衬底干燥装置，其特征在于，所述外部气体供给部包括：

风扇，配置在所述流入口处，将外部气体加压并传送到所述供气流路侧；以及

过滤器，配置在所述流入口处，将从所述风扇加压传送的外部气体内包含的异物分离。

5.根据权利要求3所述的衬底干燥装置，其特征在于，所述外部气体供给部包括：

外部气体供给配管，连接到所述流入口；

风扇，设置在所述外部气体供给配管上，将外部气体加压并传送到所述供气流路侧；

缓冲室，将所述外部气体供给配管和所述流入口连接，并且填充有从所述风扇加压传送的气体；以及

过滤器，配置在所述流入口处，将通过了所述缓冲室的气体内包含的异物分离。

6.根据权利要求5所述的衬底干燥装置，其特征在于，所述外部气体供给部还包括：挡板部件，配置在所述缓冲室和所述过滤器之间，并且构成为形成从所述缓冲室传送到所述过滤器的气体的均匀的传送压力。

7.根据权利要求1所述的衬底干燥装置，其特征在于，所述外部壳体的下端部从衬底朝上侧间隔开并在与衬底之间形成狭缝，并且使在所述供气流路中移动的气体的一部分在通过所述狭缝的同时形成沿所述干燥空间的相反方向流动的空气幕气流，以阻止外部气体通过所述狭缝流入。

8.根据权利要求7所述的衬底干燥装置，其特征在于，所述外部壳体包括：延长部，从下端部沿衬底的传送方向延长形成，并且将通过所述狭缝的所述空气幕气流引向与所述干燥空间相反的方向。

9.根据权利要求7所述的衬底干燥装置，其特征在于，所述狭缝的高度低于所述干燥空间的高度。

10.根据权利要求1所述的衬底干燥装置，其特征在于，还包括：反射板，配置在所述主体壳体的下侧，反射从所述灯辐射的辐射热量并使其集中在衬底上。

11.根据权利要求1所述的衬底干燥装置，其特征在于，

所述主体壳体包括主体和下板，所述下板结合到所述主体的下部以面向衬底，并且与衬底之间形成所述干燥空间，

所述下板包括：一对反射板支撑台，从所述主体的下端部向所述干燥空间的中心部延长形成；以及反射板，将所述一对反射板支撑台连接，并且反射从所述灯辐射的辐射热量并使其集中在衬底上。