[发明专利]光检测装置

说明书

滤波器装置具备：封装体，其形成有使光入射的开口；光透过部，其以将开口封闭的方式配置于封装体的内面；及法布里‑珀罗干涉滤波器，其配置于封装体内，使透过了光透过部的光透过。光透过部包含配置于封装体内且使入射至法布里‑珀罗干涉滤波器的光透过的带通滤波器及将入射至法布里‑珀罗干涉滤波器的光聚光的透镜部而一体地构成。

本申请是申请日为2018年3月5日、申请号为201880021069.9、发明名称为光检测装置的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种具备法布里-珀罗干涉滤波器的光检测装置。

背景技术

已知有一种光检测装置，其具备：封装体，其形成有使光入射的开口；光透过部，其以将开口封闭的方式设置于封装体；法布里-珀罗干涉滤波器，其在封装体内，使透过了光透过部的光透过；及光检测器，其在封装体内，检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器的光(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第15/064758号

发明内容

发明所要解决的问题

在如上所述的光检测装置中，较理想为使入射至封装体内的光中入射至法布里-珀罗干涉滤波器的光透过区域的光的比率增加。特别是在如使用通用的光源，对来自被测定物的反射光进行分析那样的情况下，由于反射光的光量容易变小，因而使入射至法布里-珀罗干涉滤波器的光透过区域的光的比率增加变得重要。然而，为使入射至法布里-珀罗干涉滤波器的光透过区域的光的光量增加，若仅增大封装体的开口，则有杂散光(未透过法布里-珀罗干涉滤波器的光透过区域的光)会入射至光检测器而导致S/N比及分辨率降低的担忧。

本发明的目的在于提供一种可进行高灵敏度且高精度的检测的光检测装置。

解决问题的技术手段

本发明的一个方面的光检测装置具备：封装体，其形成有使光入射的开口；光透过部，其以将开口封闭的方式配置于封装体的内面；法布里-珀罗干涉滤波器，其配置于封装体内，具有相互的距离为可变的第1镜部及第2镜部，使透过了光透过部的光透过；及光检测器，其配置于封装体内，检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器的光；光透过部包含以下而一体地构成：带通滤波器，其配置于封装体内，使入射至法布里-珀罗干涉滤波器的光透过；及透镜部，其将入射至法布里-珀罗干涉滤波器的光聚光。

在该光检测装置中，以将开口封闭的方式配置于封装体的内面的光透过部包含带通滤波器及透镜部而一体地构成。由此，将自开口入射至封装体内的光通过光透过部的透镜部而聚光，并入射至法布里-珀罗干涉滤波器。因此，可使入射至封装体内的光中入射至法布里-珀罗干涉滤波器的光透过区域的光的比率增加。并且，可抑制光入射至法布里-珀罗干涉滤波器的光透过区域的周边区域而成为杂散光。另外，自开口入射至封装体内的光透过光透过部的带通滤波器，并入射至法布里-珀罗干涉滤波器的光透过区域。因此，可抑制具有不需要的波长的光入射至光检测器。根据以上内容，根据该光检测装置，可进行高灵敏度且高精度的检测。