[发明专利]光检测装置在审
| 申请号： | 202210609333.9 | 申请日： | 2018-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN114838818A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 广瀬真树;柴山胜己;笠原隆;川合敏光;大山泰生;藏本有未 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/04 | 分类号： | G01J1/04;G01J1/42;G01J3/02;G01J3/26;H01L31/0232 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
1.一种滤波器装置，其特征在于，
具备：
封装体，其形成有使光入射的开口；
光透过部，其以将所述开口封闭的方式配置于所述封装体的内面；及
法布里-珀罗干涉滤波器，其配置于所述封装体内，具有相互的距离为可变的第1镜部及第2镜部，使透过了所述光透过部的所述光透过，
所述光透过部包含带通滤波器和透镜部而一体地构成，所述带通滤波器配置于所述封装体内，且使入射至所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述光透过，所述透镜部将入射至所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述光聚光。
2.一种光检测装置，其特征在于，
具备：
权利要求1所述的滤波器装置；及
检测透过了所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述光的光检测器。
3.如权利要求2所述的光检测装置，其特征在于，
自所述光的入射方向观察的情况下，所述法布里-珀罗干涉滤波器的外缘位于所述开口的外缘的外侧，所述光透过部的外缘位于所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述外缘的外侧。
4.如权利要求2或3所述的光检测装置，其特征在于，
所述光透过部包含光透过构件且与所述带通滤波器及所述透镜部一体地形成，
所述带通滤波器设置于所述光透过构件的光出射面，
所述透镜部作为所述光透过构件的一部分而形成于所述光透过构件的光入射面侧。
5.如权利要求2或3所述的光检测装置，其特征在于，
所述光透过部包含光透过构件且与所述带通滤波器及所述透镜部一体地形成，
所述带通滤波器设置于所述光透过构件的光出射面，
所述透镜部设置于所述带通滤波器的光出射面。
6.如权利要求2或3所述的光检测装置，其特征在于，
所述光透过部包含光透过构件且与所述带通滤波器及所述透镜部一体地形成，
所述带通滤波器设置于所述光透过构件的光出射面，
所述透镜部设置有一对，
所述一对透镜部中的一者作为所述光透过构件的一部分而形成于所述光透过构件的光入射面侧，
所述一对透镜部中的另一者设置于所述带通滤波器的光出射面。
7.如权利要求4～6中任一项所述的光检测装置，其特征在于，
自所述光的入射方向观察的情况下，所述光透过构件的外缘位于所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述外缘的外侧。
8.如权利要求7所述的光检测装置，其特征在于，
自所述光的入射方向观察的情况下，所述带通滤波器的外缘位于所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述外缘的外侧。
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