[发明专利]控制方法和控制装置

权利要求书

1.一种控制方法，其为成膜装置中的控制方法，所述成膜装置具有处理容器和配置在所述处理容器内的管状部件，能够在被收纳在所述管状部件内的基片上形成膜，所述控制方法的特征在于，包括：

步骤(a)，获取设置在所述管状部件内的第1温度传感器测量的第1温度；

步骤(b)，基于所获取的所述第1温度，计算向配置在所述处理容器内的加热部输出的使得所述第1温度接近目标温度的第1功率；

步骤(c)，获取设置在所述管状部件外且设置在所述处理容器内的第2温度传感器测量的第2温度；

步骤(d)，基于所获取的所述第2温度，计算向所述加热部输出的使得所述第2温度接近温度上限值的第2功率；

步骤(e)，基于至少能够预测所述第2温度的预测模型，根据所获取的所述第2温度来计算规定时间后的所述第2温度的预测值；

步骤(f)，与计算出的所述第2温度的预测值相应地向所述加热部输出所述第1功率和所述第2功率中的任一者；和

步骤(g)，以规定周期反复进行所述步骤(a)～(f)。

2.如权利要求1所述的控制方法，其特征在于：

所述步骤(f)中，在所述第2温度的预测值低于所述温度上限值时，向所述加热部输出所述第1功率。

3.如权利要求1或2所述的控制方法，其特征在于：

所述步骤(f)中，在所述第2温度的预测值为温度上限值以上时，向所述加热部输出所述第2功率。

4.如权利要求1～3中任一项所述的控制方法，其特征在于：

所述预测模型能够预测所述第1温度，对所述预测模型输入包含所述第2温度的信息的状态变量，

所述控制方法还包括：

步骤(h)，计算向所述加热部输出的使得利用所述预测模型计算出的所述第1温度的预测值接近所述目标温度的功率；和

步骤(i)，将计算出的所述功率输入所述预测模型，基于所述预测模型，根据所述第1温度的预测值来计算一定时间后的所述第1温度的预测值，

所述步骤(e)中，将基于所述步骤(i)中计算出的所述第1温度的预测值在所述步骤(h)中计算出的功率输入所述预测模型，将一定时间后的所述第2温度的预测值的计算反复进行n次来计算规定时间后的所述第2温度的预测值，其中n≥1。

5.如权利要求1～3中任一项所述的控制方法，其特征在于：

所述步骤(e)中，对所述预测模型输入包含所述第2温度的信息的状态变量和功率的信息，根据所获取的所述第2温度来计算所述规定时间后的所述第2温度的预测值。

6.如权利要求1～3中任一项所述的控制方法，其特征在于：

所述步骤(e)中，对所述预测模型输入包含所述第2温度的信息的状态变量，根据所获取的所述第2温度来计算所述规定时间后的所述第2温度的预测值。

7.一种控制方法，其为成膜装置中的控制方法，所述成膜装置具有处理容器和配置在所述处理容器内的管状部件，能够在被收纳在所述管状部件内的基片上形成膜，所述控制方法的特征在于，包括：

步骤(a)，获取设置在所述管状部件内的第1温度传感器测量的第1温度；

步骤(b)，基于所获取的所述第1温度，计算向配置在所述处理容器内的加热部输出的使得所述第1温度接近目标温度的第1功率；

步骤(c)，获取设置在所述管状部件外且设置在所述处理容器内的第2温度传感器测量的第2温度；

步骤(d)，基于所获取的所述第2温度，计算向所述加热部输出的使得所述第2温度接近温度上限值的第2功率；

步骤(e)，基于所述第1功率与所述第2功率的大小关系，向所述加热部输出所述第1功率和所述第2功率中的任一者；和

步骤(f)，以规定周期反复进行所述步骤(a)～(e)。

8.如权利要求7所述的控制方法，其特征在于：

在所述第1功率小于所述第2功率时，向所述加热部输出所述第1功率，

在所述第1功率为所述第2功率以上时，向所述加热部输出所述第2功率。