[发明专利]烧结炉及氮化硅粉末烧结方法

权利要求书

1.烧结炉，包括炉壳、装在炉壳内的保温筒、装在保温筒内的均温筒，均温筒与保温筒之间形成气体流动腔，气体流动腔中装有由外部控制器控制且具有发热和温度传感功能的感应发热件，其特征在于：所述的炉壳内装有抽动均温筒内的气体在均温筒和气体流动腔间循环流动的内循环组件，内循环组件由外部控制器控制运行。

2.根据权利要求1所述的烧结炉，其特征在于：所述的内循环组件包括将均温筒内的气体抽出的抽风机和限制抽风机抽出的气体向保温筒外流出的风罩。

3.根据权利要求2所述的烧结炉，其特征在于：所述的均温筒一端设有供抽风机抽出气体的抽风口，另一端设有供气体回流进入均温筒中的回流进风口。

4.根据权利要求3所述的烧结炉，其特征在于：所述的均温筒包括均温筒体、与均温筒体端配合的均温门一和与均温筒体另一端配合的均温门二，抽风口开设在均温门一上。

5.根据权利要求4所述的烧结炉，其特征在于：所述的均温门一和均温门二为由外部控制器控制的活动门，均温门二在保温筒中运动与均温筒体分开，在均温筒体与均温门二之间形成回流进风口。

6.根据权利要求4所述的烧结炉，其特征在于：所述的保温筒包括保温筒体、与保温筒体一端配合的保温门一和与保温筒体另一端配合的保温门二，保温门一与均温门一同侧设置，保温门二与均温门二同侧设置，抽风机沿中轴线设置，抽风机的电机端定位在炉壳上，抽风机的抽风桨叶端穿过保温门一并伸入至抽风口中。

7.根据权利要求6所述的烧结炉，其特征在于：所述的风罩装在保温筒体上，将保温门一所在一端的罩住，抽风机穿过风罩和保温门一伸入至抽风口中。

8.采用权利要求1至7任一项所述的烧结炉的氮化硅粉末烧结方法，将硅粉装载在均温筒内并向气体流动腔中输入反应气氛气体，通过外部控制器控制感应发热件发热使均温筒内升温对硅粉进行烧结，其特征在于：烧结过程中外部控制器控制内循环组件将气体从均温筒内抽出至气体流动腔中，并在气体流动腔中流动再回流至均温筒内，形成气体在均温筒与气体流动腔间的内循环。

9.根据权利要求8所述的氮化硅粉末烧结方法，其特征在于：通过感应发热件实时监测内气体流动腔中的气体温度并发送至外部控制器，外部控制器根据接收的气体温度信息，对感应发热件的输出功率进行调整。

10.根据权利要求9所述的氮化硅粉末烧结方法，其特征在于：监测气体流动腔中的实时气压并发送至外部控制器，外部控制器根据接收的气压信息，调整抽风机的输出功率、回流进风口的大小以及输入反应气氛气体的流量、流速，以调整气体在均温筒和气体流动腔间的流速、流量和流向。