[发明专利]一种晶片自扶正固晶平台

权利要求书

1.一种晶片自扶正固晶平台，其特征在于，包括工作台(2)以及位于工作台(2)上的键合臂(1)、点胶臂(3)、晶片台(8)和PCB板放置台(9)和负压胶箱(10)，所述键合臂(1)和点胶臂(3)固定设置于移动座(4)上，所述移动座(4)与工作台(2)活动连接，所述晶片台(8)和PCB板放置台(9)位于移动座(4)的不同侧；

所述键合臂(1)底部设置用于吸附晶片的负压通道(11)，所述负压通道(11)的进气端设置负压贴合板，所述负压贴合板的外部设置与负压贴合板同圆心的扶正环(12)，所述扶正环(12)上设置用于被吸附于负压贴合板上的晶片扶正的扶正油缸(14)，所述扶正油缸(14)均匀环布于扶正环(12)底部，所述扶正油缸(14)自由端设置接触头(15)，所述接触头(15)设置用于胶液吸附的负压吸嘴；

所述负压通道(11)和负压吸嘴的负压源为同一个。

2.根据权利要求1所述的晶片自扶正固晶平台，其特征在于，所述扶正油缸(14)端部的旋转套筒(13)固定套接于扶正环(12)上的扶正轴(16)下端，所述扶正轴(16)的上端固定连接摇杆(19)，所述摇杆(19)通过销轴(18)与扶正环(12)旋转连接，摇杆(19)的顶部滑动铰接摇动油缸(17)的工作端，摇动油缸(17)固定连接所述扶正环(12)，所述摇动油缸(17)的轴线与扶正环(12)的轴线垂直设置；

扶正油缸(14)处于扶正状态时，摇杆(19)的轴线与扶正环(12)的轴线平行。

3.根据权利要求2所述的晶片自扶正固晶平台，其特征在于，所述扶正油缸(14)包括缸体(141)、活塞(142)、活动杆(143)、负压管(144)和导液管(145)，所述活塞(142)位于缸体(141)内部并与缸体(141)的侧壁滑动密封连接，所述活动杆(143)的一端贯穿缸体(141)与活塞(142)固定连接，活动杆(143)的另一端固定连接接触头(15)；

所述负压管(144)依次贯穿接触头(15)、活动杆(143)和活塞(142)，所述导液管(145)的一端套于负压管(144)的内部并与导液管(145)滑动密封连接，导液管(145)的另一端延伸至缸体(141)外部并与负压胶箱(10)连接。

4.根据权利要求3所述的晶片自扶正固晶平台，其特征在于，所述负压胶箱(10)的内部设置隔离板(101)，所述隔离板(101)的边部与负压胶箱(10)的内部不完全接触；

所述隔离板(101)上部空间通过导气管(103)与负压源连接，所述隔离板(10)下部空间的上部连接导液管(145)，隔离板(10)下部空间底部连接出液管(102)。

5.根据权利要求4所述的晶片自扶正固晶平台，其特征在于，在键合时，所述负压管(144)对晶片边部溢出的胶液进行吸取，在进行胶液吸取时，接触头(15)沿着晶片的边部进行行走；

所述接触头(15)在行走过程中，接触头(15)吸附端、扶正油缸(14)和旋转套筒(13)的轴心之间的距离L₁与旋转套筒(13)的旋转角度ɑ满足以下关系：

L₁/＝L₀*sinβ/sinɑ

其中，L₀为接触头(15)接触晶片边的长度，所述β为旋转套筒(13)的轴心与接触头(15)接触晶片边的端点连线与对应晶片边之间的夹角。

6.根据权利要求1、2、3、4或者5所述的晶片自扶正固晶平台，其特征在于，所述负压贴合板上设置孔径不同且交错排列的负压孔，所述负压通道(11)的内部设置用于测量气压的气压测量仪。

7.根据权利要求6所述的晶片自扶正固晶平台，其特征在于，所述负压贴合板包括外贴合环(111)和内贴合块(112)，所述负压通道(11)内部设置用于推动内贴合块(112)的分离气缸(113)。

8.根据权利要求7所述的晶片自扶正固晶平台，其特征在于，所述工作台(2)的上方设置横向滑台(5)，所述横向滑台(5)与移动座(4)滑动连接，所述横向滑台(5)通过竖直气缸(6)与工作台(2)在竖直方向滑动连接，所述竖直气缸(6)通过纵向气缸(7)与工作台(2)在纵向滑动连接。