[发明专利]供存储库与OHT交换晶圆盒的运输装置、天车窗口及存储库

说明书

本发明提供一种供存储库与OHT交换晶圆盒的运输装置、天车窗口及存储库，应用于半导体制造设备技术领域，其中运输装置包括：安装于所述交换运输通道的底部上的第一移动机构；连接于所述第一移动机构上的第二移动机构；连接于所述第二移动机构上的托盘；用于控制所述第一移动机构和所述第二移动机构的控制机构。通过优化改进运输装置，便于在工厂中部署该运输装置，以供晶圆盒存储库与空中运输车之间交换晶圆盒。

技术领域

本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种供存储库与空中运输车（OHT）交换晶圆盒的运输装置、天车窗口及存储库。

背景技术

随着集成电路在日常生活中的普遍应用，半导体在产品中的地位日益重要，其市场需求相对也得到了大幅提升，全球半导体市场已获得蓬勃发展。为了满足半导体集成电路的大量需求，半导体制造企业都以提高产能及合格率为优先目标。在半导体制造企业中，用于生产集成电路的晶片通常是采用批量化搬运方式，即多个晶片放于硅片存储盒（也可称晶圆盒，Front Open Unified Pod，Foup）进行搬运。鉴于人力搬运不仅效率低，也容易发生危险，且搬运过程中存在芯片污染、芯片碰撞破碎等不确定因素，自动物料搬运系统（AMHS，Automatic Material Handling System）应运而生，并且已经广泛应用在半导体制造行业中。

在AMHS中存储库（也可称存储系统，STK，Stocker）是一种面向半导体行业的洁净式立体仓库，用于批量存储晶片（或者说Foup）；空中运输车（OHT，OverheadHoistTransportation）是一种可以运行在空中轨道上的用于自动搬运Foup的运输设备，因具有较大的空间自由度而广泛应用在自动物料搬运系统中，空中运输车在晶片厂（Fabrication，Fab）中的各个存储系统之间自动搬运Foup，辅助完成Fab中各个工序之间衔接。

目前，现有可供储存库与空中运输车之间交换晶圆盒的自动运输装置，是在Fab厂原先较低产能需求时布设的设备，但在面对Fab厂新产能需求时，运输装置存在的诸多不足之处逐渐显现出来，比如整体布局落后，占用存储库较大空间，部署位置不灵活，自动化搬运方式不够灵活等等，这些不足之处已经严重地制约了Fab厂产能提升，比如将晶圆盒从存储库传送给空中运输车的效率偏低，比如将晶圆盒从空中运输车传送给存储库的效率不高，比如晶圆盒交换中平稳性不高等等。

因此，在Fab厂的新产能需求下，需要一种新的可供存储库与空中运输车之间交换晶圆盒的自动运输方案。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种存储库和供存储库与空中运输车交换晶圆盒的运输装置，可在存储库与空中运输车之间交换晶圆盒时对晶圆盒高效地自动运输，进行暂存、运输，保障晶圆盒交换能够平稳、高效地进行，以满足半导体工厂对新产能需求。

本发明提供以下技术方案：

本发明提供一种供存储库与空中运输车交换晶圆盒的运输装置，所述运输装置设置于天车窗口的交换运输通道内，所述交换运输通道包括第一暂存舱段、运输舱段和第二暂存舱段，所述第一暂存舱段和所述运输舱段悬空于存储库的外侧，所述第二暂存舱段为存储库内的目标阁位，所述第一暂存舱段和所述第二暂存舱段均设置有晶圆盒托架；

所述运输装置包括：

安装于所述交换运输通道的底部上的第一移动机构；

连接于所述第一移动机构上的第二移动机构；

连接于所述第二移动机构上的托盘；

用于控制所述第一移动机构和所述第二移动机构的控制机构；

其中，在所述控制机构的控制下，所述第一移动机构用于在水平方向上移动所述第二移动机构；所述第二移动机构用于在竖直方向上移动所述托盘；所述托盘用于在所述第二移动机构沿竖直方向上移动时，从所述晶圆盒托架的下方取放目标晶圆盒。