[发明专利]一种晶粒剥离装置

权利要求书

1.一种晶粒剥离装置，其特征在于，包括转动顶升机构（1），转动顶升机构（1）的正上方设有剥离机构（3），剥离机构（3）上设有定位机构（4），转动顶升机构（1）上设有多个放置盘（2）；

转动顶升机构（1）上具有一个转动盘（111）；

剥离机构（3）上具有一个矩形板（31），矩形板（31）位于转动盘（111）的正上方，矩形板（31）上开设有圆孔，矩形板（31）上侧安装有剥离气缸（32），剥离气缸（32）的活动端设有剥离弧板（33），圆孔位于剥离弧板（33）的运动轨迹上，矩形板（31）上设有出料构件（35），出料构件（35）的出料端上设有收渣构件（36）；

定位机构（4）的数量为多个，且均设于圆孔处，并用于劈裂后晶圆盘与蓝膜分离时对放置盘（2）的定位；

放置盘（2）放置于转动盘（111）上，并用于劈裂后晶圆盘的固定及加热；

转动顶升机构（1）通过转动盘（111）的转动，以调节放置盘（2）的位置，并通过顶升的方式使得放置盘（2）向上运动；

剥离机构（3）通过剥离弧板（33）的运动对位于圆孔处的劈裂后晶圆盘与蓝膜进行分离。

2.根据权利要求1所述的晶粒剥离装置，其特征在于，转动盘（111）的上壁安装有四个安装环（113），每个安装环（113）上设有多个内锥支撑爪（114），内锥支撑爪（114）的内壁作用于放置盘（2）的下端外壁，用于放置盘（2）位置调节时对放置盘（2）限位。

3.根据权利要求1所述的晶粒剥离装置，其特征在于，放置盘（2）包括底盘（200），底盘（200）的外周成形有锥形环（201），底盘（200）设有多根套筒（202），套筒（202）内均穿有穿销（203），穿销（203）的上端设有下衬盘（204），下衬盘（204）的外周开设有环槽（205），下衬盘（204）的上端设有外环（206），外环（206）的外周上设有插接头（207），外环（206）内设有内环（208），内环（208）内设有隔热套（209），隔热套（209）内设有加热丝（210），插接头（207）连接于加热丝（210），加热丝（210）的上方设有凹形盘（211），凹形盘（211）上端设有圆盖板（212），凹形盘（211）与圆盖板（212）形成的空腔内填充有导热油，圆盖板（212）上开设有多个吸眼（213），吸眼（213）位于外环（206）与内环（208）之间。

4.根据权利要求3所述的晶粒剥离装置，其特征在于，外环（206）外周上固定有连接头（214），连接头（214）内成形有锥形孔（215），锥形孔（215）的外侧端为大端，且内侧端为小端，锥形孔（215）的内侧端连通有内孔（219），锥形孔（215）的外侧端连接有外孔（218），锥形孔（215）内设有锥形弹簧（217），锥形弹簧（217）的内侧端设有密封球（216），密封球（216）的直径大于内孔（219）的直径。

5.根据权利要求1所述的晶粒剥离装置，其特征在于，剥离弧板（33）的下端内壁成形有弧形剥离刀（330）。

6.根据权利要求1所述的晶粒剥离装置，其特征在于，矩形板（31）的几何中心位置处成形有锥形下料孔（310），锥形下料孔（310）的上端为大端，且下端为小端，锥形下料孔（310）处同心地安装有半弧形板（34）。

7.根据权利要求6所述的晶粒剥离装置，其特征在于，出料构件（35）包括安装于锥形下料孔（310）下端的锥形罩（350），锥形罩（350）的下端连通有弯管（351），弯管（351）的另一端倾斜地连通有出料管（352），出料管（352）的另一端向下倾斜延伸，出料管（352）的下侧成形有凹形收渣壳（353），出料管（352）的下侧开设有多个出渣孔，出渣孔位于凹形收渣壳（353）内，凹形收渣壳（353）的端部开口，凹形收渣壳（353）的开口端下底上开设有凹形开口（354）。