[发明专利]一种用于显示制程蚀刻废液的回收系统及方法

权利要求书

1.一种用于显示制程蚀刻废液的回收系统，其特征在于：包括依次连接的反应槽（1）、螺旋回流槽（3），所述反应槽（1）内含有蚀刻废液以及与蚀刻废液反应的阳离子无机添加剂。

2.根据权利要求1所述的一种用于显示制程蚀刻废液的回收系统，其特征在于：还包括与螺旋回流槽（3）连接的过滤系统（4）。

3.一种用于显示制程蚀刻废液的回收方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1：将蚀刻废液输送入反应槽（1），并向反应槽（1）中投入阳离子无机添加剂，对蚀刻废液处理；

步骤2：将步骤1中的蚀刻废液输送入螺旋回流槽（3），进行沉降分离，得到产成品。

4.根据权利要求3所述的一种用于显示制程蚀刻废液的回收方法，其特征在于：将步骤2中螺旋回流槽（3）中的沉降物通过过滤系统（4），进行过滤，得到产成品。

5.根据权利要求3所述的一种用于显示制程蚀刻废液的回收方法，其特征在于：所述阳离子无机添加剂选自单阳离子无机添加剂、多阳离子无机添加剂中的一种或者更多种的组合。

6.根据权利要求5所述的一种用于显示制程蚀刻废液的回收方法，其特征在于：所述单阳离子无机添加剂选自聚硅酸类无机添加剂、聚磷酸类无机添加剂中的一种或者更多种的组合。

7.根据权利要求5所述的一种用于显示制程蚀刻废液的回收方法，其特征在于：所述多阳离子无机添加剂为聚合硫酸氯化铁铝。

8.根据权利要求6所述的一种用于显示制程蚀刻废液的回收方法，其特征在于：所述聚硅酸类无机添加剂选自聚硅酸、聚硅酸硫酸铁、聚硅酸铁、聚合聚铁硅中的一种或者更多种的混合。

9.根据权利要求6所述的一种用于显示制程蚀刻废液的回收方法，其特征在于：所述聚磷酸类无机添加剂选自聚磷氯化铁、聚磷氯化铝中的一种或更多种的混合。

10.根据权利要求3所述的一种用于显示制程蚀刻废液的回收方法，其特征在于：所述阳离子无机添加剂占蚀刻废液百分比质量为1%-6%。