[发明专利]一种大面积钙钛矿太阳能电池组件及其制作方法在审
| 申请号: | 202210483013.3 | 申请日: | 2022-05-05 |
| 公开(公告)号: | CN115064643A | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
| 发明(设计)人: | 方主亮;林和华;葛文奇;钱家栋;牛欢欢;孙建侠;田清勇;范斌 | 申请(专利权)人: | 昆山协鑫光电材料有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/44 | 分类号: | H01L51/44;H01L51/48 |
| 代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 何胜男 |
| 地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 大面积 钙钛矿 太阳能电池 组件 及其 制作方法 | ||
1.一种大面积钙钛矿太阳能电池组件,包括依次层叠设置的第一电极、钙钛矿层和第二电极;其特征在于,所述太阳能电池组件还包括:
第一隔离槽,其沿厚度方向贯穿第一电极,
第二隔离槽,其至少沿厚度方向贯穿钙钛矿层,以及
第三隔离槽,其至少沿厚度方向连续贯穿第二电极和钙钛矿层;
并且,所述第一隔离槽、第二隔离槽、第三隔离槽沿一指定方向依次设置,所述指定方向与所述钙钛矿层的表面平行。
2.根据权利要求1所述的大面积钙钛矿太阳能电池组件,其特征在于,还包括:
第一修饰层,设置在第一电极和钙钛矿层之间,
第二修饰层,设置在第二电极和钙钛矿层之间;
并且,所述第二隔离槽沿厚度方向连续贯穿第一修饰层、钙钛矿层和第二修饰层,所述第三隔离槽沿厚度方向连续贯穿第二电极、第二修饰层和钙钛矿层;
所述第一修饰层还包括填充在第一隔离槽中的第一填充结构,所述第二电极还包括填充在所述第二隔离槽中的第二填充结构。
3.根据权利要求1或2所述的大面积钙钛矿太阳能电池组件,其特征在于:所述第二隔离槽的槽底到达第一电极表面。
4.根据权利要求1所述的大面积钙钛矿太阳能电池组件,其特征在于:
所述第一隔离槽与第二隔离槽在指定方向上的间距为10-50um,所述第二隔离槽与第三隔离槽在指定方向上的间距为10-50um。
5.一种大面积钙钛矿太阳能电池组件的制作方法,包括制作层叠设置的第一电极、第一修饰层、钙钛矿层、第二修饰层、第二电极的步骤;其特征在于,所述制作方法还包括:
在第一电极中加工出第一隔离槽,所述第一隔离槽沿厚度方向贯穿第一电极,
在第一电极上依次设置第一修饰层、钙钛矿层和第二修饰层,并对第二修饰层、钙钛矿层和第一修饰层进行物理加工和/或化学刻蚀,从而形成第二隔离槽,所述第二隔离槽沿厚度方向连续贯穿第二修饰层、钙钛矿层和第一修饰层;
在第二修饰层上设置第二电极,并对第二电极、第二修饰层和钙钛矿层进行物理加工和/或化学刻蚀,从而形成第三隔离槽,所述第三隔离槽沿厚度方向连续贯穿第二电极、第二修饰层和钙钛矿层。
6.根据权利要求5所述的大面积钙钛矿太阳能电池组件的制作方法,其特征在于:采用紫外激光对第二电极、第二修饰层和钙钛矿层进行蚀刻,从而形成第三隔离槽。
7.根据权利要求6所述的大面积钙钛矿太阳能电池组件的制作方法,其特征在于:于所述第二电极、第二修饰层和钙钛矿层上采用紫外激光在同一位置以200KHZ-600KHZ、500mm/s-1200mm/s、0.2W-0.4W的激光条件蚀刻两次。
8.根据权利要求5所述的大面积钙钛矿太阳能电池组件的制作方法,其特征在于:所述第一修饰层和第二修饰层的制备方法包括磁控溅射、热蒸发、反应等离子体沉积、气相沉积、原子层沉积、狭缝涂布、喷涂、刮涂或丝网印刷中的任意一种。
9.根据权利要求5所述的大面积钙钛矿太阳能电池组件的制作方法,其特征在于,所述钙钛矿层的制备,包括:采用狭缝涂布、喷涂、刮涂或丝网印刷中的任意一种方法将钙钛矿前驱溶液均匀覆在第一修饰层上;再采用真空闪蒸法、风刀法、隧道炉、层次炉干燥、热板退火中的任意一种或多种去溶剂法,使钙钛矿在第一修饰层上得以干燥和结晶,以形成所述钙钛矿层,优选的,所述钙钛矿前驱溶液中的溶剂包括DMF、DMSO、NMP或γ-GB中的任意一种或多种的组合。
10.根据权利要求5所述的大面积钙钛矿太阳能电池组件的制作方法,其特征在于,所述第二电极的制备,包括:采用磁控溅射、热蒸发、反应等离子体沉积、气相沉积或原子层沉积中一种或几种组合沉积方法,制备在第二修饰层上。
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