[发明专利]一种量产测试方法、系统和存储介质

说明书

本申请公开了一种量产测试方法、系统和存储介质，以实现在量产测试时做到测试数据质量高、良率损失低且测试时间短三者兼顾。该方法包括：获取同一型号不同批次的芯片的实测参数；基于所述实测参数，分别对各批次进行失效率和良率的联合卡控；对经所述联合卡控筛选出的问题批次进行部件平均测试；根据联合卡控结果和部件平均测试结果输出本次量产测试结果。

技术领域

本发明涉及量产测试技术领域，更具体地说，涉及一种量产测试方法、系统和存储介质。

背景技术

芯片生产流程中的最后一道工序为量产测试。量产测试的基本目的就是在芯片生产流程中将不符合设计规范的芯片(也称离群芯片或失效品)剔除，从而提高芯片早期可靠性。随着产品集成度提升，半导体行业对量产测试的测试数据质量、良率损失、测试时间等方面提出了更高的要求，但现有的量产测试方案无法做到测试数据质量高、良率损失低且测试时间短三者兼顾。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种量产测试方法、系统和存储介质，以实现在量产测试时做到测试数据质量高、良率损失低且测试时间短三者兼顾。

一种量产测试方法，包括：

获取同一型号不同批次的芯片的实测参数；

基于所述实测参数，分别对各批次进行失效率和良率的联合卡控；

对经所述联合卡控筛选出的问题批次进行部件平均测试；

根据联合卡控结果和部件平均测试结果输出本次量产测试结果。

可选的，所述对经所述联合卡控筛选出的问题批次进行部件平均测试，包含：对经所述联合卡控筛选出的问题批次中的良品进行部件平均测试。

可选的，所述根据联合卡控结果和部件平均测试结果输出本次量产测试结果，包括：

将经所述联合卡控筛选出的失效品和经所述部件平均测试筛选出的失效品标记为本次量产测试确定的所有失效品，其余均为良品。

可选的，所述分别对各批次进行失效率和良率的联合卡控，包括：

分别计算各批次的良率，以及各批次在第m个预先指定的测试项上的失效率；m＝1、2、…、k，k为大于0的整数；

对于每一批次，当本批次的良率未超出预设的良率下限，并且本批次在第m个预先指定的测试项上的失效率未超出对应本测试项预设的失效率上限时，判定本批次为正常批次；反之，判定本批次为问题批次。

可选的，在所述量产测试方法执行过程中，还包括：

判断是否达到所述良率下限和所述失效率上限的预定更新时间，以及判断从上一次更新所述良率下限和所述失效率上限开始距当前所测试的芯片数量是否达到第一预设个数，当达到所述预定更新时间和所述第一预设个数的至少其中之一时，更新所述良率下限和所述失效率上限。

可选的，所述部件平均测试将未超出规格上限和规格下限的芯片判定为良品，其余均为失效品。

可选的，在所述量产测试方法执行过程中，还包括：

判断是否达到所述规格上限和所述规格下限的预定更新时间，以及判断从上一次计算所述规格上限和所述规格下限开始距当前所测试的芯片数量是否达到第二预设个数，当达到所述定期更新时间和所述第二预设个数的至少其中之一时，更新所述规格上限和所述规格下限。

可选的，所述部件平均测试包括：动态部件平均测试或静态部件平均测试；所述动态部件平均测试相比所述静态部件平均测试对所述规格上限和所述规格下限的更新频率高。

一种量产测试系统，包括：

获取单元，用于获取同一型号不同批次的芯片的实测参数；