[发明专利]一种高厚径比线路板通孔电镀工艺有效
申请号: | 202210458302.8 | 申请日: | 2022-04-28 |
公开(公告)号: | CN114574911B | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 宗高亮;谢慈育;李得志 | 申请(专利权)人: | 深圳市板明科技股份有限公司 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38;C25D5/18;C25D7/00;C25D17/10;H05K3/42 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 李巍 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高厚径 线路板 电镀 工艺 | ||
1.一种高厚径比线路板通孔电镀工艺,其特征在于,包含以下步骤:
使用表层涂有铱和钽涂层的钛网作为阳极,在电镀铜溶液中,对设有通孔的线路板进行脉冲电镀;
所述脉冲电镀为正反脉冲电流电镀,工艺条件为:正向电流密度为1.2-1.8A/dm2,正反向脉冲电流幅值比为1:2-1:3;正向脉冲时间为100-200毫秒,正反向脉冲时间比为10:1-20:1;
所述电镀铜溶液由以下浓度的组分组成:硫酸200-240g/L、五水合硫酸铜70-90g/L、氯离子50-80ppm、加速剂10-20ppm、抑制剂500-2000ppm和整平剂5-10ppm;所述整平剂为噻二唑酰胺化合物;
电镀时,电镀铜溶液的温度为10-35℃;
所述噻二唑酰胺化合物的结构式为:
所述加速剂为异硫脲丙磺酸内盐;
所述抑制剂为聚乙二醇或聚乙二醇醚;
所述抑制剂的分子量为4000-20000。
2.如权利要求1所述的高厚径比线路板通孔电镀工艺,其特征在于,所述通孔的板厚与孔径比为10-15:1。
3.如权利要求2所述的高厚径比线路板通孔电镀工艺,其特征在于,所述电镀铜溶液由以下浓度的组分组成:硫酸220g/L、五水合硫酸铜80g/L、氯离子70ppm、加速剂15ppm、抑制剂1000ppm和整平剂8ppm;所述抑制剂为聚乙二醇,抑制剂的分子量为8000。
4.如权利要求2所述的高厚径比线路板通孔电镀工艺,其特征在于,所述电镀铜溶液由以下浓度的组分组成:硫酸220g/L、五水合硫酸铜80g/L、氯离子70ppm、加速剂15ppm、抑制剂1000ppm和整平剂8ppm;所述抑制剂为聚乙二醇醚,抑制剂的分子量为8000。
5.如权利要求2所述的高厚径比线路板通孔电镀工艺,其特征在于,所述正反脉冲电流电镀的工艺条件为:正向电流密度为1.5A/dm2,正反向脉冲电流幅值比为1:3;正向脉冲时间为100毫秒,正反向脉冲时间比为20:1;电镀时溶液温度为25℃。
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