[发明专利]LDI自动聚焦控制方法及曝光设备

说明书

本发明公开了一种LDI自动聚焦控制方法及曝光设备，涉及LDI曝光机技术领域。本发明包括操作板，操作板的上侧装设有两个连接柱，连接柱的两端均弹性且滑动配合有第一滑动板、第二滑动板，操作板的上侧滑动配合有两个第一水管，两个第一水管之间连接并连通有两个第一水箱，两个第一水箱的相对侧均连接并连通有喷管。本发明通过设置的第一滑动板、第二滑动板，方便了通过使用者滑动第一滑动板、第二滑动板对电路板进行定位及解除定位，使得电路板表面在清理过程中晃动的情况，设置的毛刷，方便了毛刷在第一水箱的带动下在电路板的表面进行驱动，进而通过毛刷对电路板表面的杂质进行清理，使得电路板表面杂质清理的过程更加的便捷。

技术领域

本发明属于LDI曝光机技术领域，特别是涉及一种LDI自动聚焦控制方法及曝光设备。

背景技术

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等，由于市面上大多数的印刷电路板都为精密线路，普遍的解析能力达到10-20μm量级，因此激光直接成像能量的均匀性是影响曝光质量的主要因素。

但是，现有技术中需要对电路板表面进行清理，但是现有清洗装置依次只能清洁电路板的单面，而现有电路板的双面都需要清洁，因此需要在清洁完单面后人工翻面继续清洁，费时费力，进而降低了电路板清洁的效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种LDI自动聚焦控制方法及曝光设备，解决了现有LDI曝光设备电路板不易清洁的技术问题。

为达上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的：

一种LDI自动聚焦曝光设备，包括操作板，操作板的上侧装设有两个连接柱，连接柱的两端均弹性且滑动配合有第一滑动板、第二滑动板，操作板的上侧滑动配合有两个第一水管，两个第一水管之间连接并连通有两个第一水箱，两个第一水箱的相对侧均连接并连通有喷管，两个第一水箱的相对侧均装设有多组毛刷；

电路板，且电路板位于操作板的上侧，且第一滑动板、第二滑动板均与电路板配合。

可选的，操作板的上侧开设有一个槽道、两个滑道、多个通孔，且通孔与槽道相连通，滑道与槽道相连通，槽道的四个拐角处均装设有支撑柱，且连接柱的一侧装设在支撑柱的一端，连接柱的一侧装设有两个第一固定筒，第一固定筒的一端滑动配合有第一滑动杆，且第一滑动杆的一端装设在第一滑动板的一侧，第一滑动板的另一侧装设有第一锥形柱，且第一锥形柱的一端与电路板的拐角处配合，第一滑动板与连接柱之间装设有两个第一弹簧。

可选的，第一滑动板的一侧装设有两个第二固定筒，第二固定筒的一端滑动配合有第二滑动杆，且第二滑动杆的一端装设在第二滑动板的一侧，第二滑动板的一侧与第一滑动板之间装设有第二弹簧，第二滑动板的一侧装设有多个第二锥形柱，且第二锥形柱的一端与电路板配合，滑道的内部装设有电机、导向杆，电机的输出端装设有螺纹杆，螺纹杆的上侧螺纹配合有滑动柱，且滑动柱滑动配合在导向杆上，第一水管的一端装设在滑动柱的上端。

可选的，两个第一水管之间连接并连通有第二水管，第二水管上连接并连通有软管，软管的一端连接并连通有第三连接管，操作板的底部装设有第二水箱，且第二水箱与通孔相连通，第三连接管的一端位于第二水箱的内部，第二水箱的内部装设有水泵，且位于第二水箱内的一端与水泵的输出端相连接，操作板的一侧装设有定位块，且第三连接管位于定位块内，操作板的底部装设有四个支撑座，喷管的一端与电路板的一侧配合，毛刷的一侧与电路板的一侧配合。

一种LDI自动聚焦控制方法，包括如下步骤：

步骤1，拍摄：通过拍摄获取被测体热像数据；

步骤2，测距：用于获取被测体与拍摄装置距离的信息，测距与镜头位于大致同轴；

步骤3，聚焦，通过使用者调节拍摄装置对被测体进行聚焦操作；