[发明专利]LDI自动聚焦控制方法及曝光设备在审
| 申请号: | 202210449804.4 | 申请日: | 2022-04-27 |
| 公开(公告)号: | CN114791692A | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
| 发明(设计)人: | 刘涛;张昌清;于福来 | 申请(专利权)人: | 浙江津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;B08B1/00;B08B3/02 |
| 代理公司: | 杭州汇和信专利代理有限公司 33475 | 代理人: | 薛文玲 |
| 地址: | 310000 浙江省杭州市余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | ldi 自动 聚焦 控制 方法 曝光 设备 | ||
1.一种LDI自动聚焦曝光设备,其特征在于,包括:
操作板(1),操作板(1)的上侧装设有两个连接柱(107),连接柱(107)的两端均弹性且滑动配合有第一滑动板(111)、第二滑动板(117),操作板(1)的上侧滑动配合有两个第一水管(119),两个第一水管(119)之间连接并连通有两个第一水箱(121),两个第一水箱(121)的相对侧均连接并连通有喷管(122),两个第一水箱(121)的相对侧均装设有多组毛刷(127);
电路板(2),且电路板(2)位于操作板(1)的上侧,且第一滑动板(111)、第二滑动板(117)均与电路板(2)配合。
2.如权利要求1所述的一种LDI自动聚焦曝光设备,其特征在于,操作板(1)的上侧开设有一个槽道(101)、两个滑道(104)、多个通孔(102),且通孔(102)与槽道(101)相连通,滑道(104)与槽道(101)相连通,槽道(101)的四个拐角处均装设有支撑柱(106),且连接柱(107)的一侧装设在支撑柱(106)的一端。
3.如权利要求1所述的一种LDI自动聚焦曝光设备,其特征在于,连接柱(107)的一侧装设有两个第一固定筒(108),第一固定筒(108)的一端滑动配合有第一滑动杆(109),且第一滑动杆(109)的一端装设在第一滑动板(111)的一侧,第一滑动板(111)的另一侧装设有第一锥形柱(112),且第一锥形柱(112)的一端与电路板(2)的拐角处配合,第一滑动板(111)与连接柱(107)之间装设有两个第一弹簧(110)。
4.如权利要求1所述的一种LDI自动聚焦曝光设备,其特征在于,第一滑动板(111)的一侧装设有两个第二固定筒(113),第二固定筒(113)的一端滑动配合有第二滑动杆(114),且第二滑动杆(114)的一端装设在第二滑动板(117)的一侧,第二滑动板(117)的一侧与第一滑动板(111)之间装设有第二弹簧(115),第二滑动板(117)的一侧装设有多个第二锥形柱(116),且第二锥形柱(116)的一端与电路板(2)配合。
5.如权利要求2所述的一种LDI自动聚焦曝光设备,其特征在于,滑道(104)的内部装设有电机、导向杆,电机的输出端装设有螺纹杆(105),螺纹杆(105)的上侧螺纹配合有滑动柱(118),且滑动柱(118)滑动配合在导向杆上,第一水管(119)的一端装设在滑动柱(118)的上端。
6.如权利要求2所述的一种LDI自动聚焦曝光设备,其特征在于,两个第一水管(119)之间连接并连通有第二水管(120),第二水管(120)上连接并连通有软管(123),软管(123)的一端连接并连通有第三连接管(125)。
7.如权利要求6所述的一种LDI自动聚焦曝光设备,其特征在于,操作板(1)的底部装设有第二水箱(126),且第二水箱(126)与通孔(102)相连通,第三连接管(125)的一端位于第二水箱(126)的内部,第二水箱(126)的内部装设有水泵,且位于第二水箱(126)内的一端与水泵的输出端相连接。
8.如权利要求6所述的一种LDI自动聚焦曝光设备,其特征在于,操作板(1)的一侧装设有定位块(124),且第三连接管(125)位于定位块(124)内,操作板(1)的底部装设有四个支撑座(103)。
9.如权利要求1所述的一种LDI自动聚焦曝光设备,其特征在于,喷管(122)的一端与电路板(2)的一侧配合,毛刷(127)的一侧与电路板(2)的一侧配合。
10.一种LDI自动聚焦控制方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1,拍摄:通过拍摄获取被测体热像数据;
步骤2,测距:用于获取被测体与拍摄装置距离的信息,测距与镜头位于大致同轴;
步骤3,聚焦,通过使用者调节拍摄装置对被测体进行聚焦操作;
步骤4,记录,通过使用者记录的指示,将聚焦操作对应的聚焦驱动参数、与对应的距离信息,生成聚焦配置信息,响应聚焦指示,根据测距步骤获得的被测体距离信息,并基于聚焦配置信息。
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