[发明专利]太赫兹波导口部毛刺去除工艺

说明书

本发明公开了一种太赫兹波导口部毛刺去除工艺，涉及太赫兹波导处理工艺技术领域，它包括上下腔组合、固定至铣床、设置铣平法兰端面的路径及参数、设置切削距离参数、设置切削路径、设置切削参数、启动铣刀铣平及切削、清理检查、二次处理9个步骤。使用铣床对太赫兹波导口边缘的毛刺进行去除，针对太赫兹波导自身特性及波导口的特殊性能要求，设计铣刀专有的切削距离和路径，保证波导口的毛刺最大程度的去除，还不会使毛刺内翻至波导口内。铣床的机械方式，不同于手工去毛刺的方式，防止波导口受人为因素影响导致刮伤的情况；也不同于电化学去毛刺的方式，防止波导口边缘被腐蚀；也不需要购买专门的设备，成本相对较低。

技术领域

本发明涉及太赫兹波导处理工艺技术领域，具体涉及一种太赫兹波导口部毛刺去除工艺。

背景技术

太赫兹波是指频率在0.1～10THz范围内的电磁波，对应波长范围是0.03～3mm，处于微波与红外之间。太赫兹波导作为太赫兹波传输的关键部件，在雷达、探测、通信等领域应用越来越广泛。太赫兹波导口部尺寸精度为±0.005mm，加工制造过程中容易在波导口部产生毛刺，由于口部尺寸小，其长边不大于1mm，因此毛刺去除成为一个难点问题。而细小毛刺的残留会恶化驻波、插损等电性能指标。

目前去除毛刺的常规方法有如下几种：手工去毛刺、电化学去毛刺、磨粒流去毛刺、电磁抛光去毛刺、热能去毛刺、强力超声波去毛刺、高压水喷射去毛刺、液氮冷冻去毛刺等。手工去毛刺的方法受人为因素影响，容易导致波导口被刮伤；电化学去毛刺的方法受化学材料的影响，容易导致波导口边缘被腐蚀；其他方法都需要购买专门的设备，造成成本偏高。

发明内容

本发明的目的在于：针对上述存在的问题，提供一种不使用常规方法，防止波导口被人为损伤或被腐蚀，也不需要购买专门的设备的太赫兹波导口部毛刺去除工艺。

本发明采用的技术方案如下：

一种太赫兹波导口部毛刺去除工艺，太赫兹波导包括上腔、下腔，两者组合后的端部为完整的法兰，毛刺去除工艺包括以下步骤：

S1、将太赫兹波导固定在铣床上，使铣刀正对波导口；

S2、设置铣刀与太赫兹波导距离，保证铣刀中心与波导口的边距保持0.1～0.3mm距离；

S3、设置铣刀切削路径，以波导口靠近中心位置为起点，从该起点横向向外移动至靠近波导口内边缘处，即毛刺位置，再沿波导口内边缘逆时针切削一圈后横向向内移动至靠近波导口中心位置，以该位置为终点；

S4、设置铣刀切削参数；

S5、启动铣刀开始切削，切削完成后，取下太赫兹波导。

采用上述技术方案，由于铣刀中心与波导口边距的距离不能过大也不能过小，如果过大，会导致铣刀不起作用，无法接触到波导口边缘，也就无法取出毛刺；如果过小，会导致切削量大，从而导致毛刺大，产生内翻边，进而导致波导口损伤，影响太赫兹波导的使用。因此，设计0.1～0.3mm是保证铣刀能够去除毛刺的同时，不会造成大的切削量。由于铣刀是顺时针旋转的，切削路径的设计，使得毛刺被切削后朝波导口的反方向甩出，有利于毛刺的去除，不会导致毛刺向波导口内甩，进而不会导致毛刺内翻，损伤波导口。

优选的，步骤S4中的铣刀切削参数为：转速S＝6000～7000r/min，进给F＝200～260mm/min，切深a_p＝0.003～0.005mm。

采用上述技术方案，参数的设计基于太赫兹波导的自身的材质和产生毛刺的尺寸，保证毛刺去除符合要求。

优选的，步骤S1前还包括步骤：对上腔和下腔进行开粗，经热处理使时效应力释放完全后，进行精加工，将上腔和下腔两者的法兰端面部分预留0.05～0.1mm的余量，用于铣平；组合上腔和下腔。