[发明专利]太赫兹波导口部毛刺去除工艺

权利要求书

1.一种太赫兹波导口部毛刺去除工艺，太赫兹波导包括上腔、下腔，两者组合后的端部为完整的法兰，其特征在于，毛刺去除工艺包括以下步骤：

S1、将太赫兹波导固定在铣床上，使铣刀正对波导口；

S2、设置铣刀与太赫兹波导距离，保证铣刀中心与波导口的边距保持0.1～0.3mm距离；

S3、设置铣刀切削路径，以波导口靠近中心位置为起点，从该起点横向向外移动至靠近波导口内边缘处，即毛刺位置，再沿波导口内边缘逆时针切削一圈后横向向内移动至靠近波导口中心位置，以该位置为终点；

S4、设置铣刀切削参数；

S5、启动铣刀开始切削，切削完成后，取下太赫兹波导。

2.如权利要求1所述的太赫兹波导口部毛刺去除工艺，其特征在于，所述步骤S4中的铣刀切削参数为：转速S＝6000～7000r/min，进给F＝200～260mm/min，切深a_p＝0.003～0.005mm。

3.如权利要求2所述的太赫兹波导口部毛刺去除工艺，其特征在于，所述步骤S1前还包括步骤：对上腔和下腔进行开粗，经热处理使时效应力释放完全后，进行精加工，将上腔和下腔两者的法兰端面部分预留0.05～0.1mm的余量，用于铣平；组合上腔和下腔。

4.如权利要求3所述的太赫兹波导口部毛刺去除工艺，其特征在于，所述步骤S1后、S2前还包括步骤：设置铣刀铣平端面的路径及参数。

5.如权利要求2所述的太赫兹波导口部毛刺去除工艺，其特征在于，所述步骤S5后还包括步骤S6：使用压缩空气对太赫兹波导表面吹气1～2min，去除乳化液及多余物，将产品置于20℃恒温间进行恒温2h后，使用投影仪60倍以上状态下检查波导口处毛刺去除情况。

6.如权利要求5所述的太赫兹波导口部毛刺去除工艺，其特征在于，所述步骤S6后还包括步骤S7：检查毛刺去除不符合预定要求时，使用金相砂纸，朝向波导口的长边方向摩擦1～2min，使用压缩空气吹净；重复S6，直至检查毛刺去除符合预定要求，毛刺去除结束。

7.如权利要求1所述的太赫兹波导口部毛刺去除工艺，其特征在于，所述铣刀切削路径的起点和终点重合或相互靠近。

8.如权利要求1所述的太赫兹波导口部毛刺去除工艺，其特征在于，所述步骤S5具体为：启动铣刀，将太赫兹波导的法兰端面铣平后，开始切削，切削完成后，停止铣刀，取下太赫兹波导。