[发明专利]改性酚醛树脂、其制备方法和正性光刻胶

权利要求书

1.改性酚醛树脂，其具有下式I的化学结构：

其中0≤X≤1，0≤Y≤1，0≤Z≤1，且X+Y+Z＝1；5≤n≤300，优选5≤n≤200；取代基R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆各自独立地为特羟基或丁氧酰氧基或叔丁氧基，但不同时为羟基。

2.根据权利要求1所述的改性酚醛树脂，其中：

取代基R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆中，羟基的数量占5％-70％，优选5％-50％。

3.根据权利要求1或2所述的改性酚醛树脂，其中X＝1，Y＝0，Z＝0；或X＝0，Y＝1，Z＝0；或X＝0，Y＝0，Z＝1。

4.用于制备改性酚醛树脂的方法，其包括:

a)在催化剂的存在下，使甲醛和联苯二酚反应，以获得酚醛树脂；

其中所述联苯二酚选自下组中的一种或多种：5,5’-二甲基-2,2’-联苯二酚、2,6,2’,6’-四甲基-3,3’-联苯二酚和3,3’-二甲基-4,4’-联苯二酚；以及

b)使所述酚醛树脂中的羟基转化为可被酸裂解的基团，以获得所述改性酚醛树脂。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述步骤b)中的可被酸裂解的基团是特丁氧酰氧基和/或叔丁氧基。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其中所述酚醛树脂中30％-95％的羟基被转化为可被酸裂解的基团，优选50％-95％。

7.根据权利要求4所述的方法，其中所述步骤b)包括使二碳酸二叔丁酯和/或叔丁基溴与所述步骤a)获得的酚醛树脂中的羟基反应，以获得所述改性酚醛树脂。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述二碳酸二叔丁酯和/或所述叔丁基溴与所述步骤a)获得的酚醛树脂中的羟基的摩尔比为(0.3～0.95)：1，优选(0.5～0.95)：1。

9.正性光刻胶，其包含：

100重量份的溶剂；

5-150重量份，优选5-100重量份的如权利要求1-3中任一项所述的改性酚醛树脂或由如权利要求4-8中任一项所述的方法制备得到的改性酚醛树脂；和

0.05-90重量份，优选0.5-45重量份的产酸剂。

10.如权利要求1-中任一项所述的改性酚醛树脂或由如权利要求4-8中任一项所述的方法制备得到的改性酚醛树脂在制备正性光刻胶中的用途。