[发明专利]一种生产工艺指标分析方法、系统、设备和介质

权利要求书

1.一种生产工艺指标分析方法，其特征在于，包括：

获取包含各工艺指标的目标数据，将所述目标数据划分为多个次级目标；其中，所述次级目标与所述工艺指标相对应；

获取各所述次级目标的影响因素，并根据所述影响因素与对应次级目标的相关性对影响因素进行重要度排序，获取排序结果中前N个影响因素作为关键因素；

根据预设的最大工艺窗口对各次级目标的关键因素进行单因素分析，获取工艺指标分析结果；

根据所述分析结果输出对应工艺指标的最优工艺区间。

2.根据权利要求1所述的生产工艺指标分析方法，其特征在于，获取包含各工艺指标的目标数据，将所述目标数据划分为多个次级目标，包括：

将连续数据进行离散化处理，获取离散数据作为所述目标数据；

对所述目标数据进行分类获取多个所述次级目标。

3.根据权利要求1所述的生产工艺指标分析方法，其特征在于，获取各所述次级目标的影响因素，并根据所述影响因素与对应次级目标的相关性对影响因素进行重要度排序，包括：

获取所述次级目标中符合正态分布的参数作为目标变量；

获取所述目标变量对应的影响因素，其中所述影响因素为对应目标变量的关联参数；

对所述目标变量与对应影响因素之间的相关性进行评分得到评分结果或者获取所述目标变量与对应影响因素之间的分布的相似度；

将所述评分结果或相似度作为对应影响因素的重要度值，并根据所述重要度值进行重要度排序。

4.根据权利要求3所述的生产工艺指标分析方法，其特征在于，得到评分结果的计算方式，包括：

Y₁＝A×y₁+B×y₂

其中，Y₁为评分结果，y₁为所述目标变量与对应影响因素的标准化后的相关性；y₂对应影响因素的专家评分，A、B分别为y₁，y₂的权重。

5.根据权利要求3所述的生产工艺指标分析方法，其特征在于，获取所述分布的相似度的方式，包括：

其中，Y₂表示所述目标变量与对应影响因素的分布的相似度；X为所述目标变量；x为对应的影响因子，ε为误差因子。

6.根据权利要求1所述的生产工艺指标分析方法，其特征在于，根据预设的最大工艺窗口对各次级目标的关键因素进行单因素分析，获取工艺指标分析结果，包括：

获取符合期望结果的样本与为符合期望结果的样本，计算出期望结果的评述和频率，得到对应工艺指标的目标参数分布；以及

获取所述关键因素的达成率分布，根据所述合格率分布获取推荐区间；

将所述目标参数分布和所述推荐区间作为对应工艺指标的分析结果。

7.根据权利要求1所述的生产工艺指标分析方法，其特征在于，根据所述分析结果输出对应工艺指标的最优工艺区间，包括：

根据所述最大工艺窗口获取多个样本分箱，统计各所述样本分箱中工艺指标对应预设期望的达成率，根据所述达成率对各样本分箱进行排序，根据排序结果进行最优工艺区间划分；或者，

获取N各连续平均达成率最高的区间作为所述最优工艺区间；或者，

对各工艺指标的样本达成率进行聚类，获取聚类后达成率最高的区间作为所述最优工艺区间。

8.一种生产工艺指标分析系统，其特征在于，包括：

目标获取模块，用于获取包含各工艺指标的目标数据，将所述目标数据划分为多个次级目标；其中，所述次级目标与所述工艺指标相对应；

影响因素获取模块，用于获取各所述次级目标的影响因素，并根据所述影响因素与对应次级目标的相关性对影响因素进行重要度排序，获取排序结果中前N个影响因素作为关键因素；

指标分析模块，用于根据预设的最大工艺窗口对各次级目标的关键因素进行单因素分析，获取工艺指标分析结果；

工艺参数输出模块，用于根据所述分析结果输出对应工艺指标的最优工艺区间。