[发明专利]工件加工用片

权利要求书

1.一种工件加工用片，其具备基材和层叠在所述基材的一面侧的粘着剂层，其特征在于，

所述基材含有抗静电剂，

所述粘着剂层由含有丙烯酸类聚合物和游离性环氧树脂的活性能量射线固化性的丙烯酸类粘着剂组合物形成，

用切割刀自活性能量射线固化后的所述粘着剂层的与基材为相反侧的表面侧切入切口，基于JIS K5600-5-6:1999的划格法，以切割间隔为5mm、切割线为11条×11条的方式形成方格数为100的划格部，将由NICHIBAN Co.,Ltd.制造的Cellulose Tape(注册商标)构成的粘着胶带贴附于所述划格部，并将贴附于所述划格部的所述粘着胶带剥离后所残留的方格数为95以上。

2.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，活性能量射线固化后的所述粘着剂层的与基材为相反侧的面的表面电阻率为1.0×10¹³Ω/□以下。

3.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，所述丙烯酸类粘着剂组合物中的所述游离性环氧树脂的含量相对于100质量份所述丙烯酸类聚合物为5质量份以上且小于40质量份。

4.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，所述丙烯酸类粘着剂组合物含有交联剂。

5.根据权利要求4所述的工件加工用片，其特征在于，所述丙烯酸类粘着剂组合物中的所述交联剂的含量相对于100质量份所述丙烯酸类聚合物为3质量份以上。

6.根据权利要求4所述的工件加工用片，其特征在于，所述交联剂为甲苯二异氰酸酯类交联剂。

7.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，

所述丙烯酸类聚合物为在侧链引入了具有活性能量射线固化性的官能团的(甲基)丙烯酸酯聚合物，

所述(甲基)丙烯酸酯聚合物中含有最多的构成该聚合物的主链的单体单元为烷基的碳原子数为1～4的(甲基)丙烯酸烷基酯。

8.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，

所述基材具有靠近所述粘着剂层的表面层、远离所述粘着剂层的背面层及位于所述表面层和所述背面层之间的中间层，

至少所述表面层含有抗静电剂。

9.根据权利要求8所述的工件加工用片，其特征在于，

所述表面层及所述背面层含有抗静电剂，

所述中间层不含抗静电剂，或者所述中间层含有少于所述表面层及所述背面层各自中的抗静电剂含量且小于5质量％的抗静电剂，所述抗静电剂含量的单位为质量％。

10.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，所述抗静电剂为高分子型抗静电剂。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的工件加工用片，其特征在于，所述工件加工用片为切割片。