[发明专利]执行器、机器人及基板转运方法

说明书

本申请涉及本申请涉及执行器、机器人及基板转运方法，其中，执行器，包括：安装座；多个固持臂，多个固持臂均安装在安装座上，且至少两个固持臂具有第一距离和第二距离，第二距离大于第一距离，固持臂包括固持臂主体和固持结构，各固持臂主体上均设置有固持结构，以使单独的固持臂对目标物形成固持。本申请的技术方案有效地解决了现有技术中的基板由于变形而导致的损坏的问题。

技术领域

本申请涉及显示基板的技术领域，尤其涉及一种执行器、机器人及基板转运方法。

背景技术

平板显示基板玻璃的生产工艺中，薄化玻璃基板的产品需求越来越多，上述的基板的搬运通常采用机械手架进行搬运的方式，将基板放置在机械手架上进行搬运。上述的基板的生产工艺中机器人的末端执行器搬运到存储装置的过程是很重要的环节，能否稳定的实现搬送是保证基板生产的重要的环节。通常薄化玻璃因为易变形，在机械手架搬送过程中，因自身重力等外力的作用下会导致薄化玻璃在机械手架上发生异常的弯曲变形。因为弯曲变形，基板常常会与生产工艺中的存储装置发生干涉，导致基板破损的异常不良发生。

发明内容

本申请提供了一种执行器、机器人及基板转运方法，用于解决现有技术中的基板由于变形而导致的损坏的问题。

为解决上述问题，本申请提供了一种执行器，包括：安装座；多个固持臂，多个固持臂均安装在安装座上，且至少两个固持臂具有第一距离和第二距离，第二距离大于第一距离，固持臂包括固持臂主体和固持结构，各固持臂主体上均固定有固持结构，各固持结构分别固持于目标物。

进一步地，固持臂主体可移动地安装在安装座上，执行器还包括驱动组件，驱动组件设置在安装座上并与固持臂主体相连。

进一步地，驱动组件驱动固持臂主体沿第一方向线性移动。

进一步地，各固持臂主体上设置有多个固持结构，各固持臂主体的多个固持结构沿第二方向相互间隔的排列。

进一步地，执行器还包括支撑臂，支撑臂位于两个固持臂主体之间，支撑臂设置在安装座上。

进一步地，支撑臂包括支撑臂主体和设置在支撑臂主体上的承托结构。

进一步地，承托结构包括弧形区，弧形区与目标物相接触。

进一步地，支撑臂主体为空心杆，支撑臂主体的侧壁具有安装通孔，承托结构包括滚珠，滚珠安装在安装通孔内。

进一步地，固持结构包括负压吸附器，负压吸附器设置在固持臂主体上。

进一步地，固持臂主体为空心杆，固持臂主体的侧壁具有连通固持臂主体的内部和固持臂主体的外部的固定通孔，负压吸附器固定安装在固定通孔。

进一步地，固持结构还包括连通管，连通管穿设在固持臂主体的中空结构内并与负压吸附器相连通。

进一步地，同一固持臂主体上设置有多个负压吸附器，多个负压吸附器沿固持臂主体的轴向相间隔地设置在固持臂主体上。

进一步地，支撑臂为多个，多个支撑臂位于相邻的两个固持臂之间。

进一步地，执行器还包括形变检测器，形变检测器设置在安装座上。

根据本申请的另一方面，还提供了一种机器人，包括执行器，执行器为上述的执行器。

根据本申请的另一方面，还提供了一种基板转运方法，基板转运方法采用上述的执行器，基板转运方法包括以下步骤：获取基板的初始变形数据信号，若此变形数据信号超出第一阈值，则驱动执行器的固持臂向第二距离方向移动；获取基板的实时变形数据信号，若实时变形数据信号低于第一阈值，则停止执行器的固持臂的移动。

本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：