[发明专利]执行器、机器人及基板转运方法

权利要求书

1.一种执行器，其特征在于，包括：

安装座(10)；

多个固持臂(20)，所述多个固持臂(20)均安装在所述安装座(10)上，且至少两个所述固持臂(20)具有第一距离和第二距离，所述第二距离大于所述第一距离，所述固持臂(20)包括固持臂主体(21)和固持结构(22)，各所述固持臂主体(21)上均固定有固持结构(22)，各所述固持结构(22)分别固持于目标物(100)。

2.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，所述固持臂主体(21)可移动地安装在所述安装座(10)上，所述执行器还包括驱动组件(30)，所述驱动组件(30)设置在所述安装座(10)上并与所述固持臂主体(21)相连。

3.根据权利要求2所述的执行器，其特征在于，所述驱动组件(30)驱动所述固持臂主体(21)沿第一方向线性移动。

4.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，各所述固持臂主体(21)上设置有多个所述固持结构(22)，各所述固持臂主体(21)的多个所述固持结构(22)沿第二方向相互间隔的排列。

5.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，所述执行器还包括支撑臂(40)，所述支撑臂(40)位于两个所述固持臂主体(21)之间，所述支撑臂(40)设置在所述安装座(10)上。

6.根据权利要求5所述的执行器，其特征在于，所述支撑臂(40)包括支撑臂主体(41)和设置在所述支撑臂主体(41)上的承托结构(42)。

7.根据权利要求6所述的执行器，其特征在于，所述承托结构(42)包括弧形区，所述弧形区与所述目标物(100)相接触。

8.根据权利要求7所述的执行器，其特征在于，所述支撑臂主体(41)为空心杆，所述支撑臂主体(41)的侧壁具有安装通孔，所述承托结构(42)包括滚珠(421)，所述滚珠(421)安装在所述安装通孔内。

9.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，所述固持结构(22)包括负压吸附器，所述负压吸附器设置在所述固持臂主体(21)上。

10.根据权利要求9所述的执行器，其特征在于，所述固持臂主体(21)为空心杆，所述固持臂主体(21)的侧壁具有连通所述固持臂主体(21)的内部和所述固持臂主体(21)的外部的固定通孔，所述负压吸附器固定安装在所述固定通孔。

11.根据权利要求10所述的执行器，其特征在于，所述固持结构(22)还包括连通管，所述连通管穿设在所述固持臂主体(21)的中空结构内并与所述负压吸附器相连通。

12.根据权利要求9所述的执行器，其特征在于，同一所述固持臂主体(21)上设置有多个所述负压吸附器，所述多个负压吸附器沿所述固持臂主体(21)的轴向相间隔地设置在所述固持臂主体(21)上。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的执行器，其特征在于，所述执行器还包括形变检测器(50)，所述形变检测器(50)设置在所述安装座(10)上。

14.一种机器人，包括执行器，其特征在于，所述执行器为权利要求1至13中任一项所述的执行器。

15.一种基板转运方法，其特征在于，所述基板转运方法采用权利要求1至13中任一项的执行器，所述基板转运方法包括以下步骤：

获取基板的初始变形数据信号，若此变形数据信号超出第一阈值，则驱动执行器的所述固持臂(20)向第二距离方向移动；

获取基板的实时变形数据信号，若实时变形数据信号低于第一阈值，则停止执行器的所述固持臂(20)的移动。