[发明专利]一种SF6

说明书

本发明公开了一种SF₆废气的射频放电降解方法，所述方法包括：将SF₆、O₂和Ar三种气体以(23～27)：(48～52)：2的比例混合，获得混合气体；将所述混合气体进行射频等离子体降解反应，获得反应产物，其中，所述射频等离子体降解反应中保持在0.3～1Torr的低压。本发明用射频等离子体降解SF₆可以极大提高污染物的去除率和吸收率，同时降解率高经检测SF₆的降解率达到了88～92％。

技术领域

本发明涉及废气处理技术领域，特别涉及一种SF₆废气的射频放电降解方法。

背景技术

SF₆绝缘性能是空气的2.5倍，灭弧性能是空气的约100倍，围绕SF₆设计和开发的电力设备被广泛使用。尽管SF₆具有诸多优良的性质，但是其本身具有极强的温室效应，是诸多环境公约中规定的限制性排放气体，SF₆的使用和排放一直是环境领域关注的重点。近年来随着电力工业的发展，SF₆作为最具代表的绝缘气体，其使用量也呈现上升趋势。

SF₆被列为六大限制性气体之一，其他五个分别是二氧化碳(CO₂)、甲烷(CH₄)、氧化亚氮(N₂O)、氢氟碳化物(HFCs)、全氟化碳(PFCs)，其中SF₆是单位体积温室效应值最高的气体。SF₆的GWP值是CO₂的23500倍，远超其他温室气体，同时SF₆稳定性很强，能够在大气层中稳定存在上千年。因此可见，SF₆的减排具有很强的环境意义，SF₆废气的处理目前存在巨大的经济效益和社会效益。

因此，有必要开发一种SF₆废气的环保处理方法。

发明内容

本发明目的是提供一种SF6废气的射频放电降解方法，用射频等离子体降解SF₆可以极大提高污染物的去除率和吸收率，同时降解率高经检测SF₆的降解率达到了92％。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

本发明提供了一种SF6废气的射频放电降解方法，所述方法包括：

将SF₆、O₂和Ar三种气体以(23～27)：(48～52)：2的体积比混合，获得混合气体；

将所述混合气体进行射频等离子体降解反应，获得反应产物，其中，所述射频等离子体降解反应中保持在0.3～1Torr的低压。

进一步地，所述SF₆、O₂和Ar经过标准的质量流量控制器的气体入口通入；所述SF₆、O₂和Ar在气体混合器中进行混合。

进一步地，所述射频等离子体降解反应中，通过射频发生器的两个铜电极放电，在玻璃反应器内产生等离子体放电区，使SF₆、O₂和Ar的混合气体经过等离子体放电区时发生反应。

进一步地，所述射频发生器的频率为13～14MHz，所述射频等离子体降解反应的时间为≥2h。

进一步地，通过缓冲装置使得所述玻璃反应器内反应后的气体压强≤10^-3托；其中所述缓冲装置包括依次连通的机械真空泵、扩散油泵和缓冲器，所述缓冲器的出口与所述玻璃反应器相连通。

进一步地，所述方法还包括：对所述反应产物进行收集、识别和分析。