[发明专利]一种SF6

权利要求书

1.一种SF₆废气的射频放电降解方法，其特征在于，所述方法包括：

将SF₆、O₂和Ar三种气体以(23～27)：(48～52)：2的体积比混合，获得混合气体；

将所述混合气体进行射频等离子体降解反应，获得反应产物，其中，所述射频等离子体降解反应中保持在0.3～1Torr的低压；射频发生器的频率为13～14MHz，所述射频等离子体降解反应的时间为≥2h；所述射频等离子体降解反应中，通过射频发生器的两个铜电极放电，在玻璃反应器内产生等离子体放电区，使SF₆、O₂和Ar的混合气体经过等离子体放电区时发生反应；通过缓冲装置使得所述玻璃反应器内反应后的气体压强≤10^-3托；其中所述缓冲装置包括依次连通的机械真空泵、扩散油泵和缓冲器，所述缓冲器的出口与所述玻璃反应器相连通。

2.根据权利要求1所述的一种SF₆废气的射频放电降解方法，其特征在于，所述SF₆、O₂和Ar经过标准的质量流量控制器的气体入口通入；所述SF₆、O₂和Ar在气体混合器中进行混合。

3.根据权利要求1所述的一种SF₆废气的射频放电降解方法，其特征在于，所述方法还包括：对所述反应产物进行收集、识别和分析。

4.根据权利要求3所述的一种SF₆废气的射频放电降解方法，其特征在于，所述识别中，使用气相色谱/质谱和傅里叶变换红外光谱仪对所述反应产物进行识别。

5.根据权利要求3所述的一种SF₆废气的射频放电降解方法，其特征在于，所述分析中，使用FTIR对所述反应产物进行量化。