[发明专利]测厚系统、测厚方法及计算机可读存储介质

说明书

本申请涉及一种测厚系统、测厚方法及计算机可读存储介质，测厚系统，包括发生器及探测器，用于对目标件进行测厚，以得到测量厚度值；位移检测器，用于检测发生器与探测器之间的位移变化，并得到对应的检测信号；控制器，与发生器、探测器及所述位移检测器通讯相连，用于根据检测信号计算得到一补偿量，以使测量厚度值更趋近于实际厚度值。通过该补偿量，能够补偿发生器与探测器测量的目标件的测量厚度值，进而使测量厚度值趋近于目标件的实际厚度值。故能够实时检测发生器与探测器之间的位移变化，并对测量厚度进行补偿，因此，提高了厚度检测精度。

技术领域

本申请涉及测量技术领域，特别是涉及一种测厚系统、测厚方法及计算机可读存储介质。

背景技术

薄膜类产品的厚度测量是工业生产制造过程中需要经常面对的问题，例如锂离子电池涂布工段需要测量极片厚度，以确保涂膜准确性和一致性。

目前，可使用测厚仪来测量薄膜类产品的厚度，测厚仪可利用发生器产生射线穿透物质时的吸收、反散射效应后而被射线传感器接收，来实现无损非接触式测量薄膜类材料的厚度。

但由于承载发生器、射线探测传感器的承载机构的结构不稳定性，导致承载发生器与射线探测传感器之间的间距会变化，进而影响厚度测量精度。

发明内容

鉴于上述问题，本申请提供一种测厚系统及补偿方法，能够缓解因承载发生器与射线探测传感器之间的间隙会变化，而影响厚度测量精度的问题测厚系统。

第一方面，本申请提供一种测厚系统，包括：

发生器及探测器，用于对目标件进行测厚，以得到测量厚度值；

位移检测器，用于检测发生器与探测器之间的位移变化，并得到对应的检测信号；

控制器，与发生器、探测器及所述位移检测器通讯相连，用于根据检测信号计算得到一补偿量，以使测量厚度值更趋近于实际厚度值。通过位移检测器来检测发生器和探测器之间的位移变化，并得到对应的检测信号传送给控制器，控制器根据该检测信号计算得到一补偿量，通过该补偿量，能够补偿发生器与探测器测量的目标件的测量厚度值，进而使测量厚度值趋近于目标件的实际厚度值。故本申请的测厚系统，能够实时检测发生器与探测器之间的位移变化，并对测量厚度进行补偿，因此，提高了厚度检测精度。

在一些实施例中，发生器包括射线源发生器，探测器包括射线探测器，补偿量为目标件的吸收系数的补偿量。通过设置补偿量为目标件的吸收系数的补偿量，也就是对厚度计算过程中的一常量进行了补偿，该补偿方式简单，且对其他参数无影响，进而使得补偿结果可靠。

在一些实施例中，检测信号包括电流检测信号。通过使检测信号为电流检测信号，使得控制器能够基于该电流检测信号计算得到一补偿量，而电流信号能够更加直接地反应射线或者激光等的强度变化，因此，简化了补偿量的计算过程。

在一些实施例中，位移检测器包括电涡流传感器。通过设置电涡流传感器，能够在发生器与探测器之间的产生位移变化时，输出对应的电流检测信号，且能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地检测，检测灵敏度高。

在一些实施例中，电涡流传感器包括彼此间隔设置的发射线圈和接收线圈，发射线圈与接收线圈能相互感应，以检测发生器与探测器之间的位移变化，并得到对应的检测信号。通过设置发射线圈与接收线圈相互感应，以共同实现对发生器与探测器之间的位移变化检测，检测方式简单直接，且检测灵敏度高，进一步地提升了检测精度。

在一些实施例中，发生器与探测器沿第一方向间隔设置，接收线圈包括第一接收线圈，第一接收线圈与发射线圈沿第一方向相对且间隔设置，且第一接收线圈的轴线与发射线圈的轴线重合；