[发明专利]测厚系统、测厚方法及计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种测厚系统，其特征在于，包括：

发生器及探测器，用于对目标件进行测厚，以得到测量厚度值；

位移检测器，用于检测所述发生器与所述探测器之间的位移变化，并得到对应的检测信号；

控制器，与所述发生器、所述探测器及所述位移检测器通讯相连，用于根据所述检测信号计算得到一补偿量，以使所述测量厚度值更趋近于实际厚度值。

2.根据权利要求1所述的测厚系统，其特征在于，所述发生器包括射线源发生器，所述探测器包括射线探测器，所述补偿量为所述目标件的吸收系数的补偿量。

3.根据权利要求1所述的测厚系统，其特征在于，所述检测信号包括电流检测信号。

4.根据权利要求1～3任一项所述的测厚系统，其特征在于，所述位移检测器包括电涡流传感器。

5.根据权利要求4所述的测厚系统，其特征在于，所述电涡流传感器包括彼此间隔设置的发射线圈和接收线圈，所述发射线圈与所述接收线圈能相互感应，以检测所述发生器与所述探测器之间的位移变化，并得到对应的所述检测信号。

6.根据权利要求5所述的测厚系统，其特征在于，所述发生器与所述探测器沿第一方向间隔设置，所述接收线圈包括第一接收线圈，所述第一接收线圈与所述发射线圈沿所述第一方向相对且间隔设置，且所述第一接收线圈的轴线与所述发射线圈的轴线重合；

所述检测信号包括第一检测信号，所述发射线圈与所述第一接收线圈能相互感应，以检测所述发生器与所述探测器之间沿所述第一方向的位移变化，并得到对应的所述第一检测信号。

7.根据权利要求5所述的测厚系统，其特征在于，所述发生器与所述探测器沿第一方向间隔设置，所述接收线圈包括第二接收线圈，所述第二接收线圈与所述发射线圈沿所述第一方向间隔设置，所述第二接收线圈的轴线与所述发射线圈的轴线不重合；

所述检测信号包括第二检测信号，所述发射线圈与所述第二接收线圈能相互感应，以检测所述发生器与所述探测器之间沿第二方向的位移变化量，并得到对应的所述第二检测信号；

其中，所述第一方向与所述第二方向相垂直。

8.根据权利要求7所述的测厚系统，其特征在于，所述第二接收线圈包括至少两个，全部所述第二接收线圈之间沿所述第二方向彼此间隔，且其中两个所述第二接收线圈相对所述发射线圈的轴线沿所述第二方向对称设置。

9.根据权利要求7所述的测厚系统，其特征在于，所述接收线圈包括第三接收线圈，所述第三接收线圈与所述发射线圈沿所述第一方向间隔设置，且第三接收线圈的轴线与所述发射线圈及所述第二接收线圈的轴线均不重合；

所述检测信号包括第三检测信号，所述发射线圈与所述第三接收线圈能相互感应，以检测所述发生器与所述探测器之间沿第三方向的位移变化量，并得到对应的所述第三检测信号；

其中，所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两垂直。

10.根据权利要求9所述的测厚系统，其特征在于，所述第三接收线圈包括至少两个，全部所述第三接收线圈之间沿第三方向彼此间隔，其中两个所述第三接收线圈相对所述发射线圈的轴线沿所述第三方向对称设置。

11.一种测厚方法，其特征在于，包括步骤：

通过发生器和探测器对目标件进行测厚，以得到测量厚度值；

检测所述发生器与所述探测器之间的位移变化，并得到对应的检测信号；

根据所述检测信号计算得到一补偿量，以使所述测量厚度值更趋近于实际厚度值。

12.根据权利要求11所述的测厚方法，其特征在于，所述发生器包括射线源发生器，所述探测器包括射线探测器；

其中，所述根据所述检测信号计算得到一补偿量具体包括：

根据所述检测信号计算得到所述目标件的吸收系数的补偿量。